[发明专利]洁净装置

说明书

技术领域

本发明涉及利用静电力去除存在于被洁净体表面上的尘埃的洁净装置，更具体地，涉及当被洁净体是例如玻璃基板、印刷电路板(PCB、PCBA等)、薄膜、薄片、塑料板等表面平滑性比较高的材料时能够适用的洁净装置。

背景技术

已知有一种洁净系统，是一边使洁净滚轮与被洁净体的表面的接触的同时旋转，一边利用静电力去除附着在被洁净体表面上的尘埃等的异物的(参照专利文献1)。

在上述洁净系统中，由于所述异物会逐渐地蓄积在洁净滚轮表面，所以有必要定期地进行从其表面去除异物的维护作业。因此，本发明的申请人为了不用定期地实施上述维护作业，就能够长期稳定地持续进行通过洁净滚轮的吸附去除尘埃的动作，已经就另外设置有与洁净滚轮接触的转印滚轮和带电控制滚轮等的洁净装置先提出了申请(参照专利文献2)。

图8是示意性地显示了构成已知的洁净装置100的主要部件的配置的侧面图。洁净装置100是包括洁净滚轮111、转印滚轮112、带电控制滚轮113、刷滚轮114、金属滚轮115以及洁净刀片116而构成。

洁净滚轮111是能够在表面上带有利用静电力来吸附附着在被洁净体S表面S1上的尘埃的电荷的滚轮。在洁净滚轮111的与被洁净体S的相反一侧，设有一边与洁净滚轮111的表面接触一边旋转的转印滚轮112和一边与所述转印滚轮112的表面接触一边旋转的带电控制滚轮113。

转印滚轮112是使用可在表面上带有利用静电力来吸附附着在洁净滚轮111的表面上的尘埃的材料形成的。转印滚轮112通过一边与洁净滚轮111的表面接触一边旋转，根据洁净滚轮111与转印滚轮112的表面的特性的差异，在转印滚轮112与洁净滚轮111之间产生电位差。

为了能够将利用静电力来吸附附着在被洁净体S的表面S1上的尘埃的电荷施加给洁净滚轮111以及转印滚轮112，在带电控制滚轮113的芯金113a上，连接外部电源120。

另外，以与转印滚轮112接触且可旋转的方式设置有刷滚轮114，该刷滚轮114是朝着与转印滚轮112的连动旋转方向相反的方向旋转，用来刮掉附着在转印滚轮112表面上的尘埃。

金属滚轮115以与刷滚轮114接触的方式设置，朝上述刷滚轮114的连动旋转方向旋转。为了在与转印滚轮112之间产生电位差，施加电压，在金属滚轮115上连接外部电源121。此外，在金属滚轮115的附近，设置有用来刮除尘埃的洁净刀片116。

在上述洁净装置100中，在洁净滚轮111表面上附着的尘埃被静电力转印(转移)至转印滚轮112，被转印至转印滚轮112的尘埃被刷滚轮114刮除。被该刷滚轮114刮除的尘埃被静电力吸附至金属滚轮115，吸附在金属滚轮115上的尘埃被洁净刀片116从金属滚轮115上刮除。

但是，在洁净装置100中，由于是将附着在洁净滚轮111上的尘埃转印至转印滚轮112的，为了不降低尘埃的从洁净滚轮111朝转印滚轮112的转印效率，必须适当地选择、设定转印滚轮112的材质和表面特性等。如果这些条件不适当，那么就会有尘埃从洁净滚轮111向转印滚轮112的转印效率降低，洁净滚轮111的洁净度降低的危险。

另外，在洁净装置100中，由于设置转印滚轮112，不仅花费部件成本，而且也需要配置的空间，所以，期望更进一步的改良来实现装置成本的削减和构造的小型化。

另外，上述洁净装置100是设想在被洁净体S朝一个方向搬送的情形时构成的，期望实现一种不但在被洁净体S朝一个方向搬送的情形，即使朝两个方向搬送的情形下也能够适当使用的洁净装置。

[专利文献1]日本特开2010-99565号公报

[专利文献2]日本特许第4886097号公报

发明内容

本发明是鉴于上述课题而完成的，其目的在于提供一种能够提高附着在洁净滚轮表面上的尘埃的除去效率，提高洁净滚轮的洁净度，能够实现装置的成本削减以及构造的小型化，而且不仅在被洁净体朝一个方向，即使是朝两个方向搬送的情形下也能适合使用的方便性高的洁净装置。

为了达到上述目的，本发明涉及的洁净装置(1)，其特征在于，是利用静电力去除在被洁净体表面存在的尘埃的洁净装置，具有与所述被洁净体表面接触的洁净滚轮以及与所述洁净滚轮接触而去除所述洁净滚轮表面上的尘埃的刷体。