[发明专利]升华纯化设备和方法

权利要求书

1.一种升华纯化设备，所述升华纯化设备包括：

第一机器人，所述第一机器人具有用来将包含源材料的容器加载到处理室中的臂；

所述处理室用来进行升华纯化工艺以从源材料得到纯化材料，所述包含源材料的容器和收集纯化材料的收集器位于处理室中的预定位置；以及

第二机器人，所述第二机器人具有用于从所述处理室卸出包含纯化材料的收集器的臂。

2.如权利要求1所述的升华纯化设备，其特征在于，所述升华纯化设备还包括预热室，所述预热室用于包括在所述容器中的源材料的预热处理，其中预热的源材料通过第一机器人加载到所述处理室中。

3.如权利要求1所述的升华纯化设备，其特征在于，所述升华纯化设备还包括冷却室，所述冷却室用于对包括在所述收集器中的纯化材料进行冷却处理，其中纯化材料通过第二机器人加载到所述冷却室中。

4.一种升华纯化方法，所述升华纯化方法包括：

在预热室中预热包含在容器中的源材料；

使用第一机器人的臂将包含所述预热的源材料的容器加载到处理室中，并将所述容器定位在预定位置；

进行升华纯化工艺以从所述处理室中的源材料得到纯化材料，其中纯化材料收集在位于预定位置的收集器中；

使用第二机器人的臂从所述处理室卸出包含纯化材料的收集器；以及

在进行所述升华纯化工艺的同时，开始另一预热处理。

5.如权利要求4所述的升华纯化方法，其特征在于，所述升华纯化方法还包括通过第二机器人将卸出的包含纯化材料的收集器加载到冷却室，以冷却处理所述纯化材料，

所述冷却处理与处理室中的另一升华纯化处理同时进行。