[发明专利]悬浮液、研磨液套剂、研磨液、基体的研磨方法及基体

权利要求书

1.一种悬浮液，其含有磨粒和水，所述磨粒含有4价金属元素的氢氧化物，并且，在将该磨粒的含量调节至1.0质量％的水分散液中，所述磨粒使该水分散液对波长400nm的光的吸光度为1.00以上、小于1.50，所述4价金属元素是从由稀土元素及锆组成的组中所选出的至少一种。

2.根据权利要求1所述的悬浮液，其中，在将该磨粒的含量调节至1.0质量％的水分散液中，所述磨粒使该水分散液对波长400nm的光的吸光度为1.05以上、小于1.50。

3.根据权利要求1所述的悬浮液，其中，在将该磨粒的含量调节至1.0质量％的水分散液中，所述磨粒使该水分散液对波长400nm的光的吸光度为1.10以上、小于1.50。

4.根据权利要求1所述的悬浮液，其中，在将该磨粒的含量调节至1.0质量％的水分散液中，所述磨粒使该水分散液对波长400nm的光的吸光度为1.15以上、小于1.50。

5.根据权利要求1所述的悬浮液，其中，在将该磨粒的含量调节至1.0质量％的水分散液中，所述磨粒使该水分散液对波长400nm的光的吸光度为1.20以上、小于1.50。

6.根据权利要求1所述的悬浮液，其中，在将该磨粒的含量调节至1.0质量％的水分散液中，所述磨粒使该水分散液对波长400nm的光的吸光度为1.25以上、小于1.50。

7.根据权利要求1～6中任意一项所述的悬浮液，其中，所述磨粒，在将该磨粒的含量调节至1.0质量％的水分散液中，使该水分散液对波长500nm的光的透光率在50％/cm以上。

8.根据权利要求1～6中任意一项所述的悬浮液，其中，所述磨粒，在将该磨粒的含量调节至1.0质量％的水分散液中，使该水分散液对波长500nm的光的透光率在60％/cm以上。

9.根据权利要求1～6中任意一项所述的悬浮液，其中，所述磨粒，在将该磨粒的含量调节至1.0质量％的水分散液中，使该水分散液对波长500nm的光的透光率在70％/cm以上。

10.根据权利要求1～6中任意一项所述的悬浮液，其中，所述磨粒，在将该磨粒的含量调节至1.0质量％的水分散液中，使该水分散液对波长500nm的光的透光率在80％/cm以上。

11.根据权利要求1～6中任意一项所述的悬浮液，其中，所述磨粒，在将该磨粒的含量调节至1.0质量％的水分散液中，使该水分散液对波长500nm的光的透光率在90％/cm以上。

12.根据权利要求1～6中任意一项所述的悬浮液，其中，所述磨粒，在将该磨粒的含量调节至1.0质量％的水分散液中，使该水分散液对波长500nm的光的透光率在95％/cm以上。

13.根据权利要求1～6中任意一项所述的悬浮液，其中，所述磨粒，在将该磨粒的含量调节至1.0质量％的水分散液中，使该水分散液对波长500nm的光的透光率在98％/cm以上。

14.根据权利要求1～6中任意一项所述的悬浮液，其中，所述磨粒，在将该磨粒的含量调节至1.0质量％的水分散液中，使该水分散液对波长500nm的光的透光率在99％/cm以上。

15.根据权利要求1～6中任意一项所述的悬浮液，其中，所述磨粒，在将该磨粒的含量调节至1.0质量％的水分散液中，使该水分散液对波长500nm的光的透光率在100％/cm以下。

16.根据权利要求1～6中任意一项所述的悬浮液，其中，所述磨粒，在将该磨粒的含量调节至0.0065质量％的水分散液中，使该水分散液对波长290nm的光的吸光度为1.000以上。

17.根据权利要求1～6中任意一项所述的悬浮液，其中，所述磨粒，在将该磨粒的含量调节至0.0065质量％的水分散液中，使该水分散液对波长290nm的光的吸光度为1.050以上。

18.根据权利要求1～6中任意一项所述的悬浮液，其中，所述磨粒，在将该磨粒的含量调节至0.0065质量％的水分散液中，使该水分散液对波长290nm的光的吸光度为1.100以上。