[发明专利]液体排出头

说明书

技术领域

本发明涉及液体排出头。

背景技术

喷墨记录设备具有排出液体的液体排出头。液体排出头通常具有基板、产生用于排出液体的能量的能量产生元件和孔板，其中孔板具有排出液体的排出口。

作为孔板，存在由含有树脂等有机材料形成的那些。另一方面，存在由如氧化硅和氮化硅等无机材料形成的孔板(PTL1和PTL2)。具有此类孔板的液体排出头通常已知为设置有无机喷嘴的液体排出头。

近年来，已经提出以各种方式改进的墨作为待排出的液体。墨的改进已经通过各种技术来进行。存在其中色料不同如染料和颜料的各种类型的墨，也改进溶剂以稳定地溶解色料，并且pH从酸性至碱性变化。

已要求液体排出头有利地排出此各种类型的墨。为此，已要求孔板难以经历溶解或变形并且在各种类型的墨的情况下稳定地保持形状。

引用列表

专利文献

PTL1：美国专利No.6482574

PTL2：美国专利No.7600856

发明内容

本发明提供一种液体排出头，其具有基板、产生用于排出液体的能量的能量产生元件和其中形成排出液体的排出口的孔板，其中孔板含有硅和碳并且当硅的含量比定义为X(原子％)和碳的含量比定义为Y(原子％)时，Y/X为0.001以上。

本发明能够提供具有在待排出液体中难以溶解并且其形状稳定的孔板的液体排出头。

附图说明

图1示出本发明的液体排出头的立体图的一个实例。

图2示出本发明的液体排出头的截面图的一个实例。

图3A示出说明制造本发明的液体排出头的方法的截面图的一个实例。

图3B示出说明制造本发明的液体排出头的方法的截面图的一个实例。

图3C示出说明制造本发明的液体排出头的方法的截面图的一个实例。

图3D示出说明制造本发明的液体排出头的方法的截面图的一个实例。

图3E示出说明制造本发明的液体排出头的方法的截面图的一个实例。

图3F示出说明制造本发明的液体排出头的方法的截面图的一个实例。

具体实施方式

根据本发明人的检测，当使用具有PTL1和PTL2中描述的孔板的液体排出头时，孔板在某些情况下溶解并变形。已经发现特别地当pH为约8-9的碱性墨或含有颜料作为色料的墨与孔板长时间接触时，有可能发生孔板的溶解和变形。

本发明解决上述问题并提供具有在待排出液体中难以溶解并且其形状稳定的孔板的液体排出头。

参照图1和2，描述本发明的液体排出头。图1为液体排出头的立体图。图2为图1的液体排出头的截面图。

如图1和2中所示，液体排出头具有其中在基板2上形成排出液体的排出口4的孔板3。基板2用硅等形成。能量产生元件1在基板2的设置有孔板3的的一侧形成。图1和2中的能量产生元件1为热电转换元件(加热器)。作为能量产生元件，可以使用压电元件等。能量产生元件1可以不接触基板2并且可以相对于基板2浮起在空气中。在图1和2中，能量产生元件1用绝缘的保护膜11覆盖。

基板2具有液体供给口5。液体从液体供给口5供给，通过流路25，并且在从能量产生元件1中给出能量的同时，从排出口4排出。

接着，参照图3，描述制造本发明的液体排出头的方法。

首先，如图3A中所示，制备具有能量产生元件1的基板2。能量产生元件用TaSiN等形成并用保护膜11覆盖。

接着，如图3B中所示，将用作流路的模具的成型构件24设置在基板2上。例如，成型构件24用树脂形成。当树脂为感光性树脂时，提到包括将感光性树脂施涂至基板、将感光性树脂曝光并显影、并且然后图案化，由此形成用作流路的模具的成型构件的方法。当树脂不是感光性树脂时，提到包括将感光性树脂设置在用作成型构件的树脂上、将感光性树脂图案化以形成抗蚀剂、并且然后使用抗蚀剂通过反应离子刻蚀(RIE)等蚀刻树脂的方法。成型构件24不局限于树脂并且可以用金属如铝来形成。当使用铝时，提到包括通过溅射将铝在基板2上形成膜、使用感光性树脂等在铝上形成抗蚀剂、并且然后使用抗蚀剂通过RIE等蚀刻铝的方法。