[发明专利]层间绝缘膜用感光性树脂组合物、硬化膜及其形成方法、有机EL显示装置及液晶显示装置

权利要求书

1.一种层间绝缘膜用感光性树脂组合物，其特征在于包括：含有满足下述1及下述2的至少一个的聚合物的聚合物成分，

1：具有作为构成单元a1的含有酸基由酸分解性基保护的残基的构成单元、及作为构成单元a2的含有交联性基的构成单元的聚合物，

2：具有作为构成单元a1的含有酸基由酸分解性基保护的残基的构成单元的聚合物、及具有作为构成单元a2的含有交联性基的构成单元的聚合物；

光酸产生剂；

加合物型封闭型聚异氰酸酯化合物；以及

溶剂，

其中所述构成单元a1中的酸基为羧基或酚性羟基，所述构成单元a2中的交联性基为环氧基或氧杂环丁基。

2.根据权利要求1所述的层间绝缘膜用感光性树脂组合物，其特征在于：所述加合物型封闭型聚异氰酸酯化合物为由下述通式C所表示的化合物：

通式C

Ra-{O(C＝O)-NH-Rb-NHCO-B}n

通式C中，Ra为n价的烃基，Rb为二价的烃基，B表示将异氰酸酯封闭的基；n为3～6的整数；n个Rb及B彼此可相同，也可不同。

3.根据权利要求2所述的层间绝缘膜用感光性树脂组合物，其特征在于：所述通式C中的Ra为分支的脂肪族烃基。

4.根据权利要求2或3所述的层间绝缘膜用感光性树脂组合物，其特征在于：所述通式C中的B为源自选自由肟化合物、内酰胺化合物、酚化合物、醇化合物、胺化合物、活性亚甲基化合物、吡唑化合物、硫醇化合物、咪唑化合物及酰亚胺化合物所组成的群组中的化合物的基。

5.根据权利要求1或2所述的层间绝缘膜用感光性树脂组合物，其特征在于：其为化学增幅正型。

6.根据权利要求1或2所述的层间绝缘膜用感光性树脂组合物，其特征在于：所述酸分解性基为具有由缩醛的形式保护的结构的基。

7.根据权利要求1或2所述的层间绝缘膜用感光性树脂组合物，其特征在于：所述构成单位a1为由下述通式A2'所表示的构成单元：

通式A2'

通式A2'中，R¹及R²分别表示氢原子、烷基或芳基，至少R¹及R²的任一个为烷基或芳基，R³表示烷基或芳基，R¹或R²可与R³连结而形成环状醚，R⁴表示氢原子或甲基，X表示单键或亚芳基。

8.根据权利要求1或2所述的层间绝缘膜用感光性树脂组合物，其特征在于：所述聚合物成分的任一个为进而含有酸基的聚合物。

9.根据权利要求1或2所述的层间绝缘膜用感光性树脂组合物，其特征在于：所述加合物型封闭型聚异氰酸酯化合物为利用封闭剂将由选自甲苯二异氰酸酯、二苯基甲烷二异氰酸酯、六亚甲基二异氰酸酯及异佛尔酮二异氰酸酯中的至少1种异氰酸酯化合物所合成的聚异氰酸酯预聚物的异氰酸酯基封闭而成。

10.根据权利要求1或2所述的层间绝缘膜用感光性树脂组合物，其特征在于：所述加合物型封闭型聚异氰酸酯化合物为通过二异氰酸酯化合物与三羟甲基丙烷的反应而获得。

11.根据权利要求1或2所述的层间绝缘膜用感光性树脂组合物，其特征在于：其还包括抗氧化剂。

12.一种硬化膜的形成方法，其特征在于包括：

将根据权利要求1至11中任一项所述的层间绝缘膜用感光性树脂组合物应用于基板上的步骤；

自所应用的层间绝缘膜用感光性树脂组合物中去除溶剂的步骤；

利用活性放射线进行曝光的步骤；

利用水性显影液进行显影的步骤；以及

进行热硬化的后烘烤步骤。