[发明专利]具有使用多材料X 射线管阳极和单色光学装置产生的多激励能带的X射线分析器

权利要求书

1.一种用于X射线分析器的X射线管，包括靶，电子撞击到所述靶上以产生X射线，所述靶具有由至少两种靶材料形成的表面，每种靶材料在由所述电子撞击时发出相应的能线图。

2.根据权利要求1所述的X射线管，其特征在于，所述至少两种靶材料中的每种以单独的层形成在所述靶上。

3.根据权利要求1所述的X射线管，其特征在于，所述至少两种靶材料中的每种在所述靶上被结合成为单一合金层。

4.根据权利要求1所述的X射线管，其特征在于：

所述至少两种靶材料中的一种以第一层形成在在所述靶上；并且

至少两种靶材料在所述靶上被结合为第二合金层。

5.一种用于分析样品斑点的X射线分析设备，包括：

X射线管，包括靶，电子撞击到所述靶上以形成发散的X射线光束，所述靶具有由第一和第二靶材料形成的表面，每种靶材料被制造成在由所述电子撞击时发出对应的能线图；

第一X射线光学装置，用于接收所述发散的X射线光束并且朝向所述样品斑点引导所述光束，所述第一X射线光学装置使得所述光束从由所述第一靶材料发出的所述能线图单色化成第一能量；和

第二X射线光学装置，用于接收所述发散的X射线光束并且朝向所述样品斑点引导所述光束，所述第二X射线光学装置使得所述光束从由所述第二靶材料发出的所述能线图单色化成第二能量；

其中，由所述第一和第二单色能量引起的所述样品斑点的荧光被用于测量在所述样品中的至少一种元素的浓度。

6.根据权利要求5所述的设备，其特征在于，还包括：

所述X射线管的所述靶具有由第三靶材料形成的表面，所述第三靶材料被制造成在由所述电子撞击时发出对应的能线图；和

第三X射线光学装置，用于接收所述发散的X射线光束并且朝向所述样品斑点引导所述光束，所述第三X射线光学装置使得所述光束从由所述第三靶材料发出的所述能线图单色化成第三能量。

7.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，所述第一X射线光学装置使得来自所述靶的特征能量单色化，并且所述第二和/或第三X射线光学装置使得来自所述靶的韧致辐射能量单色化。

8.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述X射线光学装置是弯曲衍射光学装置，用于从所述X射线管接收所述发散的X射线光束，并且使得所述线束在所述样品斑点聚焦。

9.根据权利要求8所述的设备，其特征在于，所述X射线光学装置是聚焦单色光学装置。

10.根据权利要求9所述的设备，其特征在于，所述X射线光学装置是双弯曲晶体光学装置、或者HOPG光学装置、或者多层光学装置。

11.根据权利要求5所述的设备，其特征在于，所述第一和/或第二光学装置包括包含多层的弯曲晶体衍射光学装置，每层在所述入射X射线光束上具有其本身的衍射效应。

12.根据权利要求11所述的设备，其特征在于，所述第一和/或第二光学装置的所述层包括LiF。

13.根据权利要求12所述的设备，其特征在于，包括LiF层的所述第一和/或第二光学装置还包括折弯成弯曲形状的至少一个节段。

14.根据权利要求13所述的设备，其特征在于，包括LiF层的所述第一和/或第二光学装置还包括多个节段，每个节段折弯成弯曲形状并且配置成弯曲模式。

15.根据权利要求10所述的设备，其特征在于，所述弯曲模式包括全旋转360度模式。

16.根据权利要求5所述的设备，其特征在于，所述第一X射线光学装置使得来自所述靶的特征能量单色化，并且所述第二X射线光学装置使得来自所述靶的韧致辐射能量单色化。

17.根据权利要求5所述的设备，其特征在于，由所述第一和第二单色化能量引起的所述样品斑点的荧光被用于测量分别在所述样品的涂层和衬底中至少一种元素的浓度。

18.根据权利要求5所述的设备，其特征在于，所述第一和第二靶材料中的每种靶材料在所述靶中形成单独的层。

19.根据权利要求5所述的设备，其特征在于，所述第一和第二靶材料中的每种靶材料在所述靶上结合为单一合金层。

20.根据权利要求5所述的设备，其特征在于：

所述第一和第二靶材料中的一种在所述靶上形成为第一层；并且

至少两种靶材料在所述靶上被结合为第二合金层。