[发明专利]对能线性运动的元件的位置进行调节的致动器装置及方法

权利要求书

1. 用于产生线性的运动的致动器装置（10），具有一液压的致动器（12），所述致动器包括一用于操纵该致动器的第一活塞元件（14）和一用于产生所述线性的运动的第二活塞元件（18），为所述活塞元件分配了各自的、流体地相耦合的工作腔（16、20），所述工作腔的容积能够通过相应的活塞元件（14、18）的运动来改变，

其特征在于，设置了用于将力施加到所述第一活塞元件（14）上的压电致动器（36）。

2. 按权利要求1所述的致动器装置（10），

其特征在于，

所述相应的工作腔（16、20）通过两个互相相反地定向的止回阀（24、28）相连接。

3. 按权利要求2所述的致动器装置（10），

其特征在于，

所述两个止回阀（24、28）具有不同的打开力。

4. 按权利要求1到3中任一项所述的致动器装置（10），

其特征在于，

所述第一活塞元件（14）的工作腔（16）通过节流元件（32）与用于所述液压的致动器（12）的工作流体的容器（34）相耦合。

5. 按权利要求1到4中任一项所述的致动器装置（10），

其特征在于，

所述工作腔（16、20）通过相应的缸来构成，所述活塞（14、18）以能够运动的方式被接纳在所述缸中。

6. 按权利要求1到4中任一项所述的致动器装置（10），

其特征在于，

所述工作腔（16、20）通过相应的波纹管（54、56）来构成。

7. 用于对能够线性地运动的元件的位置进行调节的方法，其中借助于压电致动器（36）来将力施加到第一活塞元件（14）上，其中通过所述力的施加来改变为所述第一活塞元件（14）分配的工作腔（16）的容积，并且将所施加的力传递到第二活塞元件（18）上，所述第二活塞元件的、所分配的工作腔（20）流体地与所述第一工作腔（16）相耦合。

8. 按权利要求7所述的方法，

其特征在于，

为了沿着预先给定的方向执行一种运动，使所述压电致动器（36）在第一运动阶段中如此快地沿着所述预先给定的方向运动，使得在所述第一工作腔（16）中的、通过所述运动所产生的压力克服一种沿着运动方向将所述工作腔（16、20）流体地连接起来的止回阀（24、28）的关闭力。

9. 按权利要求8所述的方法，

其特征在于，

在第二运动阶段中使所述压电致动器（36）如此缓慢地反向于所述预先给定的方向进行运动，使得在所述第一工作腔（16）中的、通过所述运动而产生的压力没有克服反向于所述运动方向将所述工作腔（16、20）流体地连接起来的止回阀（24、28）的关闭力。

10. 按权利要求9所述的方法，

其特征在于，

在所述第二运动阶段中为了对在所述第一工作腔（16）中的容积变化进行补偿，通过节流元件（32）在所述第一工作腔（16）与容器（34）之间交换工作流体。

11. 按权利要求9或10所述的方法，

其特征在于，

交替地重复所述第一及第二运动阶段，直至所述第二活塞元件（18）处于预先给定的额定位置中。