[发明专利]光纤激光振荡器、光纤激光加工装置以及光纤激光振荡器的除湿方法

权利要求书

1.一种光纤激光振荡器，其具备：

输出激光的多个光纤激光模块；

使分别从上述多个光纤激光模块输出的激光合束并输送至外部的合束器；

通过气体分离膜模块使从外部供给的清洗用压缩空气成为低露点干燥空气的低露点化部；以及

将上述干燥空气分别分配供给至上述多个光纤激光模块的分配器，

该光纤激光振荡器的特征在于，

还具备：

收纳上述多个光纤激光模块的机箱；以及

对上述机箱的内部空间进行除湿的冷却器。

2.根据权利要求1所述的光纤激光振荡器，其特征在于，

上述干燥空气的大气压露点为-40℃以下。

3.一种光纤激光加工装置，其具备：

空气清洗单元，其具有低露点转化部，该低露点化部通过气体分离膜模块使从外部供给的清洗用压缩空气成为低露点干燥空气；

光纤激光振荡器，其具备输出激光的多个光纤激光模块、使分别从上述多个光纤激光模块输出的激光合束并输送至外部的合束器、以及将上述干燥空气分别分配供给至上述多个光纤激光模块的分配器；以及

通过从上述合束器输送的激光对工件实施激光加工的激光加工机，

该光纤激光加工装置的特征在于，

还具备：

收纳上述多个光纤激光模块的机箱；以及

对上述机箱的内部空间进行除湿的冷却器。

4.根据权利要求3所述的光纤激光加工装置，其特征在于，

上述干燥空气的大气压露点为-40℃以下。

5.一种光纤激光振荡器的除湿方法，该光纤激光振荡器具备输出激光的多个光纤激光模块、使分别从上述多个光纤激光模块输出的激光合束并输送至外部的合束器，该光纤激光振荡器的除湿方法包括下述步骤：

通过气体分离膜模块对从外部供给的清洗用压缩空气进行除湿并成为低露点干燥空气的干燥空气生成步骤；

将上述干燥空气分别分配供给至上述多个光纤激光模块的干燥空气供给步骤，

该光纤激光振荡器的除湿方法的特征在于，

上述光纤激光振荡器还具备收纳上述多个光纤激光模块的机箱、对上述机箱的内部空间进行除湿的冷却器，

与上述干燥空气供给步骤同时地进行通过上述冷却器对上述机箱的内部空间进行除湿的除湿步骤。

6.根据权利要求5所述的光纤激光振荡器的除湿方法，其特征在于，

上述干燥空气的大气压露点为-40℃以下。