[发明专利]静压气体轴承及使用该静压气体轴承的直动引导装置

权利要求书

1.一种静压气体轴承，其特征在于，包括：

合成树脂制的轴承基体，该轴承基体包括基部、环状突出部和供气通路，所述环状突出部从所述基部的一方的面与该一方的面一体地突出设置，所述供气通路的一端在所述环状突出部的突出端面开口，而另一端在基部的外周面开口，并且该供气通路设置在基部及环状突出部中；

合成树脂制的轴承体，该轴承体分别具有环状凹处、环状凹槽和作为自成孔式节流器的多个空气吹出孔，所述环状凹处形成在与基部的一方的面面对的一方的面上，并且对轴承基体的环状突出部进行收容，所述环状凹槽在另一方的面上开口，多个所述空气吹出孔的一端与环状凹槽连通，并且另一端在环状凹处开口；以及

自激振动衰减机构，该自激振动衰减机构使因经由环状凹槽从空气吹出孔将空气吹出而发生的自激振动衰减，

轴承体在形成环状凹处的轴承体的外侧圆周面及内侧圆周面与环状突出部的外周面及内周面焊接接合而与轴承基体形成为一体，

自激振动衰减机构包括空气室和至少一个节流孔，所述空气室形成于轴承基体或轴承体，或利用轴承基体及轴承体的协同作用形成，所述节流孔的一端与该空气室连通，而另一端在轴承体的另一方的面开口。

2.如权利要求1所述的静压气体轴承，其特征在于，

环状凹槽具有至少0.3mm的宽度和至少0.01mm的深度，空气吹出孔在一端具有至少30μm的直径。

3.如权利要求1或2所述的静压气体轴承，其特征在于，

环状凹槽具有0.3mm～1.0mm的宽度和0.01mm～0.05mm的深度，所述空气吹出孔在一端具有30μm～120μm的直径。

4.如权利要求1至3中任意一项所述的静压气体轴承，其特征在于，

利用激光加工来形成环状凹槽、空气吹出孔及节流孔中的至少一方。

5.如权利要求1至4中任意一项所述的静压气体轴承，其特征在于，

轴承基体的环状突出部的外周面具有圆筒外壁面、与该圆筒外壁面连续且从该圆筒外壁面向外侧逐渐扩径的环状的截头圆锥外壁面、与该截头圆锥外壁面连续且与所述基部的一方的面相连并且比圆筒外壁面的直径大的圆筒外壁面，轴承基体的环状突出部的内周面具有圆筒内壁面、与该圆筒内壁面连续且从该圆筒内壁面向内侧逐渐缩径的环状的截头圆锥内壁面、与该截头圆锥内壁面连续且与所述基部的一方的面相连并且比圆筒内壁面的直径小的圆筒内壁面，形成所述轴承体的环状凹处的外侧内周面包括外侧圆筒内壁面，该外侧圆筒内壁面具有形成所述环状凹处的开口端的外缘的环状的周缘，形成所述轴承体的环状凹处的内侧内周面具有内侧圆筒内壁面，该内侧圆筒内壁面具有形成所述环状凹处的开口端的内缘的周缘，使外侧圆筒内壁面与环状突出部的外周面的圆筒外壁面嵌合，使内侧圆筒内壁面与环状突出部的内周面的圆筒内壁面嵌合，并且使形成所述环状凹处的开口端的外缘的外侧圆筒内壁面的环状的周缘与环状突出部的外周面的截头圆锥外壁面接触，使形成所述环状凹处的开口端的内缘的内侧圆筒内壁面的环状的周缘与环状突出部的内周面的截头圆锥内壁面接触，在与所述环状突出部接触的部位，利用超声波焊接使所述轴承体焊接接合于该环状突出部而与轴承基体形成为一体。

6.如权利要求5所述的静压气体轴承，其特征在于，

空气室包括空腔，该空腔由所述基部的一方的面、与该基部的一方的面面对的轴承体的一方的面、所述轴承基体的环状突出部的内周面的截头圆锥内壁面及小径的圆筒内壁面形成，且利用轴承基体及轴承体的协同作用来形成该空腔。