[发明专利]发光半导体器件和用于制造发光半导体器件的方法有效
申请号: | 201380018936.0 | 申请日: | 2013-02-28 |
公开(公告)号: | CN104221173B | 公开(公告)日: | 2018-01-05 |
发明(设计)人: | 托马斯·施瓦茨;斯特凡·伊莱克 | 申请(专利权)人: | 欧司朗光电半导体有限公司 |
主分类号: | H01L33/62 | 分类号: | H01L33/62;H01L33/64;H01L25/075;H01L33/54 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 丁永凡,张春水 |
地址: | 德国雷*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 发光 半导体器件 用于 制造 方法 | ||
1.一种用于制造发光半导体器件(100,200,300)的方法,所述方法具有下述步骤:
A)提供发光半导体芯片(1),所述发光半导体芯片具有半导体层序列(17)、光耦合输出面(11)、与所述光耦合输出面(11)相对置的后侧面(12)和将所述光耦合输出面(11)和所述后侧面(12)连接的侧面(13),其中在所述半导体芯片(1)的所述后侧面(12)上构成两个电接触层(14)和热接触层(15),并且所述热接触层(15)与所述电接触层(14)和所述半导体层序列(17)电绝缘,
B)构成用于所述半导体芯片(1)的载体本体(2),具有下述子步骤:
B1)借助成形体(20)对所述半导体芯片(1)改型,所述成形体形状配合地且直接地覆盖所述半导体芯片(1)的所述侧面(13),
B2)在所述半导体芯片(1)的所述后侧面(12)上,通过电镀方法构成与所述半导体芯片(1)的所述电接触层(14)直接接触的电连接元件(24)和与所述半导体芯片(1)的所述热接触层(15)直接接触的热连接元件(25),其中施加具有一定厚度的所述热连接元件(25),使得所述热连接元件形成所述半导体器件(100,200,300)的背离所述半导体芯片(1)的安装侧(22)。
2.根据权利要求1所述的方法,其中借助于选自喷射、浇注、压制、层叠薄膜、传递模塑工艺和薄膜传递模塑工艺的成形工艺来形成所述成形体。
3.根据权利要求1或2所述的方法,其中所述成形体(20)不覆盖所述光耦合输出面(11)。
4.根据权利要求1或2所述的方法,其中所述成形体(20)与所述光耦合输出面(11)齐平。
5.根据权利要求1或2所述的方法,其中所述成形体(20)具有硅树脂、环氧化物、环氧化物硅树脂混合材料、聚酯、低熔点玻璃或者低熔点玻璃陶瓷。
6.根据权利要求1或2所述的方法,其中在所述光耦合输出面(11)上设置波长转换元件(3)。
7.根据权利要求1或2所述的方法,其中所述载体本体(2)在所述电连接元件(24)和所述热连接元件(25)之间具有电绝缘材料(26)。
8.根据权利要求1或2所述的方法,其中所述电连接元件(24)设置在所述载体本体(2)的内部中。
9.根据权利要求1或2所述的方法,其中所述电连接元件(24)部分地施加在所述成形体(20)上。
10.根据权利要求1或2所述的方法,其中所述热连接元件(25)在横向方向上突出于所述电连接元件(24)。
11.根据权利要求1或2所述的方法,其中所述电连接元件(24)和所述热连接元件(25)具有铜和/或镍。
12.根据权利要求1或2所述的方法,其中所述成形体(20)具有至少一个电通孔(27),所述电通孔与所述电连接元件(24)电连接。
13.根据权利要求12所述的方法,其中所述热连接元件(25)形成所述半导体器件(100,200,300)的整个安装面(22)。
14.根据权利要求1或2所述的方法,其中所述半导体芯片(1)在所述半导体层序列(17)和所述热接触层(15)之间具有电绝缘层(18)。
15.根据权利要求12所述的方法,其中所述电绝缘层(18)具有二氧化硅、金刚石或氧化铝并且以大于或等于100nm的厚度施加。
16.根据权利要求1或2所述的方法,其中所述热接触层(15)与所述电接触层(14)相比在所述半导体芯片(1)的所述后侧面(12)上占据更大的面积。
17.根据权利要求1或2所述的方法,其中在所述成形体(20)中横向并排设置多个发光半导体芯片(1),并且所述载体本体(2)具有连续的热连接元件(25),所述半导体芯片(1)的所述热接触层(15)与所述热连接元件(25)直接接触。
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