[发明专利]涂布系统和发光装置的制造方法有效
| 申请号: | 201380018875.8 | 申请日: | 2013-04-05 |
| 公开(公告)号: | CN104206017B | 公开(公告)日: | 2017-03-08 |
| 发明(设计)人: | 美马祥司 | 申请(专利权)人: | 住友化学株式会社 |
| 主分类号: | H05B33/10 | 分类号: | H05B33/10;B05C11/10;B05D5/06;B05D7/24;H01L51/50 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人: | 葛凡 |
| 地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 系统 发光 装置 制造 方法 | ||
1.一种涂布系统,其具备:
供给原料墨液的原料墨液供给部,所述原料墨液为包含作为涂布法中使用的有机化合物的发光材料的涂敷液,
第1配管,与所述原料墨液供给部连接,
搅拌槽,具备墨液搅拌机构、且通过所述第1配管与所述原料墨液供给部连接,
供给调节部,设置于所述第1配管,调节多种原料墨液各自向所述搅拌槽的供给量,
控制部,通过电信线路与所述供给调节部连接,确定多种原料墨液的混合比,并基于该混合比来控制所述供给调节部的工作,
涂布装置,其具有通过第2配管与所述搅拌槽连接的墨液输送部、和通过第3配管与所述墨液输送部连接的墨液吐出部。
2.根据权利要求1所述的涂布系统,其中,
所述供给调节部具备:
流量测定部,设置于所述第1配管、且通过所述电信线路与所述控制部连接,和
调节部,设置于第1配管、且通过所述电信线路与所述控制部连接。
3.根据权利要求1所述的涂布系统,其中,
所述供给调节部具备:
前阀,设置于所述第1配管、且通过所述电信线路与所述控制部连接,
隔膜式定量泵,设置于所述第1配管、且通过所述电信线路与所述控制部连接,和
后阀,通过所述电信线路与所述控制部连接。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的涂布系统,其还具备洗涤部,所述洗涤部具有:
洗涤液供给部,通过洗涤液供给管与所述搅拌槽连接,和
不活泼气体供给部,通过不活泼气体供给管与所述搅拌槽连接。
5.根据权利要求1~4中任一项所述的涂布系统,其中,
由所述涂布装置实施的涂布法为旋涂法、缝模涂布法、喷涂法或毛细管涂布法。
6.一种发光装置的制造方法,其为使用权利要求1~5中任一项所述的涂布系统的发光装置的制造方法,其包括:
控制部获取要求的墨液数据的工序,
所述控制部获取标准墨液数据组后基于该标准墨液数据组和所述要求的墨液数据来确定多种原料墨液的混合比的工序,
所述控制部基于确定的混合比来确定向搅拌槽供给的多种原料墨液的量的工序,
所述控制部为了分别供给确定的量的原料墨液而确定供给调节部的工作、并向输出部输出用于实行该工作的设定信号的工序,
所述供给调节部基于输入的设定信号向所述搅拌槽分别供给确定的量的多种原料墨液的工序,
通过设置在所述搅拌槽内的墨液搅拌机构,搅拌供给的多种原料墨液从而制备涂布用混合墨液的工序,和
将制备的所述混合墨液涂布于被涂布对象的工序。
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