[发明专利]压电陶瓷、压电元件、液体喷射头、超声马达和除尘装置

权利要求书

1.一种压电陶瓷，包括第一晶粒和第二晶粒，

其中，所述第一晶粒的平均等效圆直径为2μm以上和30μm以下，并且

其中，所述第一晶粒包括作为主要组分的由以下通式(1)表示的钙钛矿型金属氧化物，所述第二晶粒包括作为主要组分的由以下通式(2)表示的钙钛矿型金属氧化物：

(1)xBaTiO₃－yCaTiO₃－zCaZrO₃；和

(2)x'BaTiO₃－y'CaTiO₃－z'CaZrO₃，

规定，x、y、z、x'、y'和z'满足x+y+z＝1，x'+y'+z'＝1，0≤x'≤0.15，0.85≤y'≤1，0≤z'≤0.05，x＞x'，0＜y＜y'，和z＞0。

2.根据权利要求1所述的压电陶瓷，其中，所述第一晶粒的组分满足0.80≤x≤0.90，0.04≤y≤0.12并且0.04≤z≤0.10。

3.根据权利要求1或者2所述的压电陶瓷，其中，当观察所述压电陶瓷的表面和横截面中的一个时由所述通式(2)表示的所述钙钛矿型金属氧化物的比例按面积占0.5％以上和5％以下。

4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的压电陶瓷，其中，所述第一晶粒的所述平均等效圆直径大于所述第二晶粒的所述平均等效圆直径。

5.根据权利要求4所述的压电陶瓷，其中，所述第二晶粒的所述平均等效圆直径为200nm以上和2μm以下。

6.根据权利要求1至5中的任意一项所述的压电陶瓷，其中，所述第一晶粒的锰含量按重量计占0.05％以上至0.40％以下。

7.一种压电元件，包括：

第一电极；

压电陶瓷；和

第二电极，

其中，所述压电陶瓷包括根据权利要求1至6中的任意一项所述的压电陶瓷。

8.一种多层式压电元件，包括压电陶瓷层和包括内部电极的电极层，所述压电陶瓷层和所述电极层交替堆叠，

其中，所述压电陶瓷层由根据权利要求1至6中的任意一项所述的压电陶瓷形成。

9.根据权利要求8所述的多层式压电元件，

其中，所述内部电极包含Ag和Pd，并且其中，所述Ag的重量含量M1与所述Pd的重量含量M2的重量比M1/M2满足0.25≤M1/M2≤4.0。

10.根据权利要求8所述的多层式压电元件，其中，所述内部电极包含Ni和Cu中的至少一种。

11.一种液体喷射头，包括：

液体室，所述液体室包括振动部分，所述振动部分包括根据权利要求7所述的压电元件和根据权利要求8至10中的任意一项所述的多层式压电元件中的一种；和喷射孔，所述喷射孔与所述液体室连通。

12.一种液体喷射设备，包括：

用于记录介质的传送单元；和

根据权利要求11所述的液体喷射头。

13.一种超声马达，包括：

振动体，所述振动体包括根据权利要求7所述的压电元件和根据权利要求8至10中的任意一项所述的多层式压电元件中的一种；和

运动体，所述运动体与所述振动体相接触。

14.一种光学设备，包括驱动单元，所述驱动单元包括根据权利要求13所述的超声马达。

15.一种振动装置，其包括振动体，所述振动体包括根据权利要求7所述的压电元件和根据权利要求8至10中的任意一项所述的多层式压电元件中的一种。

16.一种除尘装置，包括根据权利要求15所述的振动装置。

17.一种成像设备，包括：

根据权利要求16所述的除尘装置；和成像元件单元，

其中，所述除尘装置包括振动构件，所述振动构件布置在所述成像元件单元的光接收表面侧上。

18.一种电子设备，包括压电声学部件，所述压电声学部件包括根据权利要求7所述的压电元件和根据权利要求8至10中的任意一项所述的多层式压电元件中的一种。