[发明专利]真空成膜装置及真空成膜方法

权利要求书

1.一种真空成膜装置，是在基材上形成成膜物质的膜的真空成 膜装置，其特征在于，防附着板以将被冷却机构冷却了的保护对象 部件的至少一部分覆盖的方式配置，且防止所述成膜物质的颗粒向 所述保护对象部件的附着，所述防附着板以如下方式配置：使包含 所述保护对象部件在内的其他结构物与所述防附着板的接触面的面 积，小于所述防附着板的使成膜物质的颗粒附着的附着膜面的面积， 并且，在所述防附着板的所述保护对象部件侧的除所述接触面之外 的面与包含所述保护对象部件在内的其他结构物之间，设置第1隔 热部件。

2.根据权利要求1所述的真空成膜装置，其特征在于，所述保 护对象部件与成膜源相邻。

3.根据权利要求1或2所述的真空成膜装置，其特征在于，所 述第1隔热部件的厚度为0.3mm以上10mm以下。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的真空成膜装置，其特征在 于，包含所述保护对象部件在内的其他结构物与所述防附着板的所 述接触面，仅设置在与所述成膜物质的成膜源距离远的一侧。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的真空成膜装置，其特征在 于，使包含所述保护对象部件在内的其他结构物与所述防附着板的 接触，在所述防附着板的端部进行。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的真空成膜装置，其特征在 于，在所述防附着板的所述附着膜面上形成有通过热喷镀法而成膜 的热喷镀膜。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的真空成膜装置，其特征在 于，在安装所述防附着板的部件与所述防附着板接触的接触面上， 以夹入的方式安装有第2隔热部件。

8.一种真空成膜方法，其特征在于，使用权利要求1～7中任一 项所述的真空成膜装置在基材上形成成膜物质的膜。