[发明专利]超声波换能器元件芯片、探测器、电子设备和超声波诊断装置

权利要求书

1.一种超声波换能器元件芯片，其特征在于，具备：

基板，阵列状地配置有开口；

超声波换能器元件，在所述基板的第一面设置于各个所述开口；

增强部件，固定于与所述基板的所述第一面相反一侧的所述基 板的第二面，用于增强所述基板；以及

通气路径，使所述开口的内部空间和所述基板的外部空间相互 连通。

2.根据权利要求1所述的超声波换能器元件芯片，其特征在于，

所述增强部件在至少一处的接合区域接合被配置成阵列状的 所述开口之间的所述基板的间隔壁部。

3.根据权利要求1或2所述的超声波换能器元件芯片，其特征在于，

所述增强部件具有叠置于所述基板的所述第二面的第一面，所 述通气路径包括配置于所述增强部件的所述第一面的槽部。

4.根据权利要求1或2所述的超声波换能器元件芯片，其特征在于，

所述通气路径包括配置于所述基板的所述第二面并将所述开 口彼此连通的槽部。

5.根据权利要求1或2所述的超声波换能器元件芯片，其特征在于，

所述基板和所述增强部件的至少一部分由多孔材料构成，所述 通气路径包括所述多孔材料的孔。

6.一种探测器，其特征在于，具备：

权利要求1～5中任一项所述的超声波换能器元件芯片和支撑 所述超声波换能器元件芯片的框体。

7.一种电子设备，其特征在于，具备：

权利要求6所述的探测器和与所述探测器连接并对所述超声波 换能器元件的输出进行处理的处理电路。

8.一种超声波诊断装置，其特征在于，具备：

权利要求6所述的探测器；

处理电路，与所述探测器连接，对所述超声波换能器元件的输 出进行处理并生成图像；以及

显示所述图像的显示装置。

9.一种探测器头，其特征在于，具备：

权利要求1～5中任一项所述的超声波换能器元件芯片、以及 支撑所述超声波换能器元件芯片且安装于探测器的探测器主体部的 框体。