[发明专利]模具、抗蚀剂积层体及其制造方法以及凹凸结构体有效

申请号：	201380014072.5	申请日：	2013-03-11
公开（公告）号：	CN104170056B	公开（公告）日：	2017-07-21
发明（设计）人：	古池润	申请（专利权）人：	旭化成株式会社
主分类号：	H01L21/027	分类号：	H01L21/027;B29C33/38;B29C33/42;B29C59/02;B32B3/26
代理公司：	上海市华诚律师事务所31210	代理人：	李晓
地址：	日本国东京都千代***	国省代码：	暂无信息
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摘要：
搜索关键词：	模具抗蚀剂积层体及其制造方法以及凹凸结构
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【权利要求书】：

1.一种模具，其为表面的一部分或全部表面上具备微细图样的模具，其特征在于，

所述微细图样，凸部顶部宽度lcv和凹部开口宽度lcc的比例(lcv/lcc)与所述微细图样的单元面积Scm的区域下存在的开口部面积Sh和所述单元面积Scm的比例(Sh/Scm)满足下述式(5)，同时

所述比例(Sh/Scm)满足下述式(2)，所述比例(lcv/lcc)满足下述式(3)，并且所述微细图样的高度H满足下述式(4)，

式(5)

$<mrow><msqrt><mn>0.76</mn><mo>/</mo><mrow><mo>(</mo><mi>Sh</mi><mo>/</mo><mi>Scm</mi><mo>)</mo></mrow></msqrt><mo>-</mo><mn>1</mn><mo>≤</mo><mi>lcv</mi><mo>/</mo><mi>lcc</mi><mo>≤</mo><msqrt><mn>0.93</mn><mo>/</mo><mrow><mo>(</mo><mi>Sh</mi><mo>/</mo><mi>Scm</mi><mo>)</mo></mrow></msqrt><mo>-</mo><mn>1</mn></mrow>$

式(2)

0.23<(Sh/Scm)≦0.99

式(3)

0.01≦(lcv/lcc)<1.0

式(4)

50nm≦H≦1500nm。

2.根据权利要求1所述的模具，其特征在于，构成所述微细图样的凹部，其直径随着从底部朝向开口部方向而增大。

3.根据权利要求1所述的模具，其特征在于，所述微细图样满足下述式(6)，

式(6)

$<mrow><msqrt><mn>0.78</mn><mo>/</mo><mrow><mo>(</mo><mi>Sh</mi><mo>/</mo><mi>Scm</mi><mo>)</mo></mrow></msqrt><mo>-</mo><mn>1</mn><mo>≤</mo><mi>lcv</mi><mo>/</mo><mi>lcc</mi><mo>≤</mo><msqrt><mn>0.91</mn><mo>/</mo><mrow><mo>(</mo><mi>Sh</mi><mo>/</mo><mi>Scm</mi><mo>)</mo></mrow></msqrt><mo>-</mo><mn>1</mn><mo>.</mo></mrow>$

4.根据权利要求2所述的模具，其特征在于，所述微细图样满足下述式(7)，

式(7)

0.4≦(Sh/Scm)≦0.95。

5.根据权利要求4所述的模具，其特征在于，所述微细图样满足下述式(8)，

式(8)

0.6≦(Sh/Scm)≦0.93。

6.根据权利要求1至权利要求5中任意一项所述的模具，其特征在于，相对于所述微细图样的水滴的接触角为90度以上。

7.根据权利要求1至权利要求5中任意一项所述的模具，其特征在于，所述微细图样含有选自由甲基、氟元素或硅元素形成的组中的1种以上的要素。

8.根据权利要求1至权利要求5中任意一项所述的模具，其特征在于，所述模具的弯曲弹性模量为5Mpa以上10Gpa以下。

9.根据权利要求1至权利要求5中任意一项所述的模具，其特征在于，其使用于LED用基板的加工。

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