[发明专利]用于除去嵌段共聚物中的金属的方法和材料

权利要求书

1.处理嵌段共聚物溶液的方法，包括：

a.提供包含在非水性溶剂中的嵌段共聚物的溶液；

b.将碱性离子交换树脂添加到所述溶液中而形成浆料；和

c.将所述浆料过滤以除去离子交换树脂。

2.权利要求1的方法，其中所述碱性离子交换树脂具有选自凝胶型、大网孔或多孔的形态；和其中作为处理所述嵌段共聚物溶液的结果，将选自铝、钙、铬、铜、铁、镁、锰、镍、钾、钠、锌、锡、镉、钴、锗、铅、锂、银或钛的一种或多种金属离子污染物从它们的初始预处理值减少至少5％。

3.权利要求1的方法，其中所述溶液包含浓度为0.1重量％-20重量％的所述嵌段共聚物。

4.权利要求1-3中任一项的方法，还包括添加磺酸阳离子交换树脂以形成混合浆料，其中所述磺酸阳离子交换树脂优选具有选自凝胶型、大网孔或多孔的形态；和其中，作为处理结果，将选自铝、钙、铬、铜、铁、镁、锰、镍、钾、钠、锌、锡、镉、钴、锗、铅、锂、银或钛的一种或多种金属离子污染物从它们的初始值减少至少5％。

5.权利要求1-4中任一项的方法，其中作为处理所述嵌段共聚物溶液的结果，百分率曝光宽容度增加了至少2个百分点。

6.权利要求1-5中任一项的方法，其中通过在与所述溶液接触之前与有机溶剂接触将所述碱性离子交换树脂和/或磺酸阳离子交换进行脱水。

7.权利要求1-6中任一项的方法，其中所述嵌段共聚物选自聚(苯乙烯-嵌段-(甲基)丙烯酸甲酯)、聚(苯乙烯-嵌段-乙烯基吡啶)、聚(苯乙烯-嵌段-聚乙二醇)、聚(苯乙烯-嵌段-二甲基硅氧烷)、聚(苯乙烯-嵌段-乙基甲基硅氧烷)、聚(苯乙烯-嵌段-丙交酯)、聚(苯乙烯-嵌段-(甲基)丙烯酸2-羟乙酯)、聚(苯乙烯-嵌段-(甲基)丙烯酸2-羟丙酯)、聚(二甲基硅氧烷-嵌段-(甲基)丙烯酸正丁酯)、聚(二甲基硅氧烷-嵌段-(甲基)丙烯酸叔丁酯)、聚(二甲基硅氧烷-嵌段-(甲基)丙烯酸羟乙酯)、聚(二甲基硅氧烷-嵌段-甲基丙烯酸甲酯-共聚-甲基丙烯酸叔丁酯)、聚(二甲基硅氧烷-嵌段-(甲基)丙烯酸1-乙氧基乙酯)、聚(二甲基硅氧烷-嵌段-ε-己内酯)、聚(二甲基硅氧烷-嵌段-丙交酯)或聚(氧化丙烯-嵌段-苯乙烯-共聚-4-乙烯基吡啶)。

8.处理嵌段共聚物溶液的方法，包括

a.提供包含在非水性溶剂中的嵌段共聚物的溶液；

b.用碱性离子交换树脂处理所述溶液。

9.权利要求8的方法，其中处理所述溶液包括让所述溶液穿过包含碱性离子交换树脂的床塔。

10.权利要求8或9的方法，其中处理所述溶液包括让所述溶液穿过包含强酸阳离子交换树脂和游离碱叔胺离子交换树脂的混合床塔，优选形成包含所述溶液和包含所述强酸阳离子交换树脂和碱性离子交换树脂的混合物的浆料；和其中所述方法优选还包括将所述浆料过滤。

11.权利要求8-10中任一项的方法，其中所述嵌段共聚物选自聚(苯乙烯-嵌段-(甲基)丙烯酸甲酯)、聚(苯乙烯-嵌段-乙烯基吡啶)、聚(苯乙烯-嵌段-聚乙二醇)、聚(苯乙烯-嵌段-二甲基硅氧烷)、聚(苯乙烯-嵌段-乙基甲基硅氧烷)、聚(苯乙烯-嵌段-丙交酯)、聚(苯乙烯-嵌段-(甲基)丙烯酸2-羟乙酯)、聚(苯乙烯-嵌段-(甲基)丙烯酸2-羟丙酯)、聚(二甲基硅氧烷-嵌段-(甲基)丙烯酸正丁酯)、聚(二甲基硅氧烷-嵌段-(甲基)丙烯酸叔丁酯)、聚(二甲基硅氧烷-嵌段-(甲基)丙烯酸羟乙酯)、聚(二甲基硅氧烷-嵌段-甲基丙烯酸甲酯-共聚-甲基丙烯酸叔丁酯)、聚(二甲基硅氧烷-嵌段-(甲基)丙烯酸1-乙氧基乙酯)、聚(二甲基硅氧烷-嵌段-ε-己内酯)、聚(二甲基硅氧烷-嵌段-丙交酯)或聚(氧化丙烯-嵌段-苯乙烯-共聚-4-乙烯基吡啶)。

12.权利要求8-11中任一项的方法，其中所述碱性离子交换树脂和/或磺酸阳离子交换树脂具有选自凝胶型、大网孔或多孔的形态；和其中，作为处理所述嵌段共聚物溶液的结果，将选自铝、钙、铬、铜、铁、镁、锰、镍、钾、钠、锌、锡、镉、钴、锗、铅、锂、银或钛的一种或多种金属离子污染物减少到它们的初始值的少于5％。

13.权利要求8-12中任一项的方法，其中作为处理所述嵌段共聚物溶液的结果，百分率曝光宽容度增加了至少2个百分点。