[发明专利]先进退火工艺中减少颗粒的设备和方法

权利要求书

1.一种处理基板的方法，包括：

提供涂布有能量阻挡层的透明板，其中所述透明板具有设置在离所述透明板的前侧预定距离处的透明片，以防止颗粒污染物在所述基板的表面上成像；以及

暴露所述基板的表面于穿过所述透明板和所述透明片的多个电磁能脉冲。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述能量阻挡层对在约200nm和约2000nm之间的预选范围的波长为不透明或反射的。

3.如权利要求2所述的方法，其中所述能量阻挡层具有预定的图案开口，所述图案开口被配置成让所述多个电磁能脉冲穿过。

4.如权利要求3所述的方法，其中所述透明片被安装在所述透明板的前侧上的框架所支撑且被配置成完全覆盖所述图案开口。

5.如权利要求1所述的方法，进一步包括：

在离所述透明板的背侧的预定距离处提供第二透明片。

6.如权利要求1所述的方法，其中电磁能的每一脉冲具有高于沉积在所述基板表面上的层的熔化温度的能量，或具有小于熔化或接近熔化沉积在所述基板表面上的层的一部分所需的能量。

7.如权利要求6所述的方法，其中每一脉冲具有约100mJ/cm²和约50J/cm²的相同能量，并且每一脉冲以约1纳秒和约500纳秒之间的持续时间被输送。

8.如权利要求1所述的方法，其中所述预定距离在约2mm和约20mm之间。

9.如权利要求1所述的方法，其中所述透明片的厚度为约5μm至约500μm。

10.如权利要求1所述的方法，其中所述透明片包括硝化纤维、乙酸纤维素或氟碳基聚合物。

11.如权利要求1所述的方法，其中所述透明片包括玻璃、石英或熔融石英。

12.一种处理基板的系统，所述系统包括：

电磁能量源，所述电磁能量源是可操作的以产生电磁能脉冲；

均匀器，所述均匀器用于调整所述电磁能脉冲的空间能量分布；

孔构件，所述孔构件具有设置在离所述孔构件的前侧预定距离处的透明片，所述孔构件涂布有具有图案开口的能量阻挡层，以让所述电磁能脉冲穿过；以及

成像模块，所述成像模块用于接收并在所述基板表面的所需区域上投射均匀量的电磁能。

13.如权利要求12所述的系统，其中所述能量阻挡层对在约200nm和约2000nm之间的预选范围的波长为不透明或反射的。

14.如权利要求12所述的系统，其中所述透明片被安装在所述孔构件的前侧上的框架所支撑，且所述预定距离在约2mm和约20mm之间。

15.如权利要求12所述的系统，进一步包括：

第二透明片，所述第二透明片设置在离所述孔构件的背侧预定距离处，其中所述第二透明片被安装在所述孔构件的背侧上的第二框架所支撑。