[发明专利]玻璃掩模用热固化型保护液及玻璃掩模

说明书

技术领域

本发明涉及用于在玻璃掩模的薄膜图案面形成透明保护膜的热固化型保护液、以及具有由下述固化物所形成的透明保护膜的玻璃掩模，所述固化物是将该保护液涂布于薄膜图案面并使其热固化而得的固化物。

背景技术

印制电路布线板或树脂凸版是将光掩模(曝光用原稿。以下亦称为“玻璃掩模”)的薄膜图案面密合于具有粘合性的光致抗蚀剂(液状光致抗蚀剂等)后，通过从非薄膜图案面侧进行曝光而制作。因此，若光掩模的与光致抗蚀剂对置的面(以下亦简称为“抗蚀剂的对置面”)未施以任何处理时，则在曝光结束后从光致抗蚀剂撕离光掩模时，光致抗蚀剂的一部分附着于光掩模表面，且即使经擦拭也仍会残留在光掩模上，对于下一次对光致抗蚀剂的曝光精度来说会产生导致下降这样的问题。因此，以往均在光掩模的抗蚀剂对置面上设置具有脱模性的表面保护膜，以防止曝光结束后光致抗蚀剂附着于光掩模上(专利文献1)。

然而，将比较厚的表面保护膜贴合于光掩模上来使用时，存在因表面保护膜的厚度所导致的曝光精度降低，或因贴合时夹带气泡等而导致的曝光精度降低的问题。

因此，替代如上所述的表面保护膜，可考虑在光掩模的抗蚀剂对置面上直接设置保护膜。

另一方面，为了保护物品表面，而进行贴合具有硬涂覆性的膜，或将具有硬涂覆性的涂膜设置于物品表面上。至于该种具有硬涂覆性的涂膜，已知有使用了环氧树脂或丙烯酸类树脂、硅酮树脂等固化性树脂的涂膜(专利文献2)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：WO2007/074778号公报(现有技术)

专利文献2：日本特开2005-186577号公报(权利要求2)

发明内容

发明所要解决的课题

在仅使用硬涂覆性优异的硅酮树脂来形成保护膜时，由于硅酮树脂的折射率接近于玻璃，故在从玻璃侧曝光时光的折射差变少，可防止曝光精度降低。相反地，由于仅获得脆的保护膜，故容易引起裂纹，会有无法获得作为保护膜的性能的问题。

在为解决裂纹发生的问题而混合使用环氧树脂时，由于环氧树脂与硅酮树脂的相容性差，故在制成保护膜时会看到因不相容所致的白化，存在妨碍透明性的问题。

需要说明的是，环氧树脂中，在将硬涂覆性优异的环氧树脂直接设置于光掩模的抗蚀剂对置面上作为具有硬涂覆性的保护膜时，虽可获得硬涂覆性，但第一，对于作为光掩模的基材的玻璃基板的密合性差，其结果，存在无法获得对于光掩模的良好粘接性的问题。第二，存在耐光性变差的问题，另外，若提高耐光性，则存在硬涂覆性降低这样的问题。

就本发明的一方面而言，提供一种玻璃掩模用热固化型保护液，其可形成与玻璃掩模的粘接性良好，有耐光性、硬涂覆性优异，不发生裂纹的保护膜，以及提供具有使用该保护液而形成的保护膜的玻璃掩模。

就本发明另一方面而言，提供一种玻璃掩模用热固化型保护液，其可形成不会产生因构成成分的不相容所致的白化的透明保护膜，以及提供具有使用该保护液而形成的保护膜的玻璃掩模。

用于解决课题的手段

本发明人等发现通过相对于硅酮树脂及硅酮油而大量含有氢化芳香族环氧树脂作为环氧树脂，从而可提高硅酮树脂与环氧树脂的相容性，且在制成涂膜(保护膜)时可提高对玻璃掩模的粘接性、和涂膜的耐光性(不发生黄变)。

即，本发明的玻璃掩模用热固化型保护液的特征在于，包含硅酮树脂、环氧树脂及硅酮油，且环氧树脂中的50重量％以上且100重量％以下由氢化芳香族环氧树脂构成。

另外，本发明的玻璃掩模用热固化型保护液的特征在于，作为氢化芳香族环氧树脂，使用的是具有下述(1)～(4)中的至少任一种性质的氢化芳香族环氧树脂。

(1)环氧当量为200以上且280以下。

(2)25℃下的粘度为0.25Pa.s以上且2.5Pa.s以下。

(3)通过使芳香族环氧树脂的芳香环氢化而得，且在碳环上不具有环氧基。

(4)芳香环的氢化率为95～100％。

另外，本发明的玻璃掩模用热固化型保护液的特征在于，硅酮树脂与环氧树脂的重量比例为4∶6～8∶2。另外，本发明的玻璃掩模用热固化型保护液的特征在于，仅包含胺系化合物作为固化剂。

本发明的玻璃掩模的特征在于，所述玻璃掩模在玻璃基板上具有薄膜图案，在所述薄膜图案面具有由使前述任一种保护液热固化而得的固化物构成的保护膜。另外，本发明的玻璃掩模的特征在于，供于形成保护膜的玻璃掩模是玻璃基板上的薄膜图案是由铬材料形成的铬掩模。

发明效果