[发明专利]臭氧产生机构以及臭氧产生方法

权利要求书

1.一种臭氧产生机构，其特征在于，具备：

臭氧产生装置，其具有被相向配置并形成放电空间的放电电极；

气体供给装置，其向前述放电空间供给作为用于产生臭氧的原料气体的含有氧的气体；

电源装置，其向前述放电电极供给用于放电的功率；

温度调节装置，其调节前述放电电极的温度；

控制部，其控制前述气体供给装置、前述电源装置和前述温度调节装置，并控制前述臭氧产生装置的运转；和

检测部，其检测前述臭氧产生装置中的臭氧产生参数，

前述控制部根据从前述检测部输出的臭氧产生参数的值，控制前述臭氧产生装置的运转，以便从通常的运转模式向洁净化运转模式转换，在所述洁净化运转模式中，联合控制前述温度调节装置和前述气体供给装置或者前述温度调节装置和前述电源装置，使前述放电电极的温度上升到五氧化二氮气化的温度，在使臭氧在前述放电空间中的产生继续的状态下，将前述放电电极表面以及前述放电空间洁净化。

2.如权利要求1所述的臭氧产生机构，其特征在于，前述臭氧产生参数是向前述放电空间供给的原料气体的露点、伴随着前述原料气体的累计水分量、在前述臭氧产生装置产生的差压、前述臭氧产生装置的入口气体压力、前述臭氧产生装置的出口气体压力、前述原料气体的流量、从前述臭氧产生装置输出的臭氧气体的臭氧浓度、前述臭氧气体的流量、前述产生量、臭氧产生效率、前述臭氧气体的硝酸浓度、前述臭氧气体的NOx浓度以及运转时间中的至少一个。

3.如权利要求1或2所述的臭氧产生机构，其特征在于，前述控制部控制向前述放电空间投入的投入功率密度、在前述放电电极流通的冷却水温度以及前述放电空间内的气体压力，使前述放电电极的温度上升。

4.如权利要求1至3中的任一项所述的臭氧产生机构，其特征在于，前述控制部使前述放电空间内的气体压力下降到超过大气压的指定压力，以便使与前述放电电极的温度对应的五氧化二氮的饱和蒸气压比前述放电空间内的气体压力高。

5.如权利要求1至4中的任一项所述的臭氧产生机构，其特征在于，前述放电空间内的气体压力按照表压被设定成0.1MPa以上，不足0.2MPa。

6.如权利要求1至5中的任一项所述的臭氧产生机构，其特征在于，

前述检测部包括计量从前述臭氧产生装置供给的臭氧化气体中的硝酸浓度的硝酸浓度计量部或者计量NOx浓度的NOx浓度计量部，在前述臭氧产生装置的下游设置将前述臭氧化气体中的硝酸成分清除的硝酸除去部，

前述控制部控制成，

在前述硝酸浓度或者前述NOx浓度的值比第1指定值高的情况下，向前述洁净化运转模式转移，

在前述硝酸浓度或者前述NOx浓度的值高于比前述第1指定值高的第2指定值的情况下，将前述臭氧化气体的至少一部分通向前述硝酸除去部。

7.如权利要求1至6中的任一项所述的臭氧产生机构，其特征在于，前述相向配置的放电电极的间隔在0.2mm以上且在0.6mm以下。

8.如权利要求1至7中的任一项所述的臭氧产生机构，其特征在于，前述温度调节装置具有：主配管，其被构成为使从前述放电电极出来的冷却水在冷却器穿过并返回前述放电电极；和旁通配管，其被构成为使从前述放电电极出来的冷却水不穿过前述冷却器而返回前述放电电极，

通过使流向前述旁通配管的冷却水的比率增加，来减少前述冷却器的从前述冷却水的吸热量。

9.如权利要求1至8中的任一项所述的臭氧产生机构，其特征在于，在前述温度调节装置中设置由来自前述电源的排热将从前述放电电极出来的冷却水加温的热交换器。

10.一种臭氧产生方法，所述臭氧产生方法向具有相向配置并形成放电空间的放电电极的臭氧产生装置供给含有氧的气体，利用前述放电空间中的放电产生臭氧，其特征在于，

检测前述臭氧产生装置中的臭氧产生参数，联合控制冷却前述放电电极的冷却水的温度和前述气体的压力或者冷却前述放电电极的冷却水的温度和向前述放电电极的投入功率，根据前述臭氧产生参数的值，使前述放电电极的温度上升到五氧化二氮气化的温度，在臭氧在前述放电空间中的产生继续的状态下，将前述放电电极表面以及前述放电空间洁净化。