[发明专利]ESD保护器件及其制造方法

权利要求书

1.一种ESD保护器件，其特征在于，包括：

第一及第二放电电极，该第一及第二放电电极配置成彼此相对；

放电辅助电极，该放电辅助电极形成为横跨在所述第一及第二放电电极间；以及

绝缘体基材，该绝缘体基材对所述第一及第二放电电极和所述放电辅助电极进行保持，

所述放电辅助电极包含以第一金属为主要成分的多个金属粒子，

所述金属粒子的分形维数D大于等于1.03。

2.如权利要求1所述的ESD保护器件，其特征在于，

所述放电辅助电极由具有核壳结构的多个核壳结构粒子的集合体构成，所述核壳结构将所述金属粒子作为核部，并以包含第二金属的金属氧化物为主要成分来形成壳部。

3.如权利要求2所述的ESD保护器件，其特征在于，

所述第二金属比所述第一金属更容易发生氧化。

4.如权利要求3所述的ESD保护器件，其特征在于，

所述第一金属是铜或以铜为主要成分的铜类合金。

5.如权利要求3或4所述的ESD保护器件，其特征在于，

包含所述第二金属的所述金属氧化物是氧化铝。

6.如权利要求3至5的任一项所述的ESD保护器件，其特征在于，

所述核部包含所述第二金属作为次要成分。

7.如权利要求1至6的任一项所述的ESD保护器件，其特征在于，

所述第一及第二放电电极及所述放电辅助电极配置于所述绝缘体基材的内部，所述绝缘体基材具有对所述第一及第二放电电极间的所述间隙进行配置的空洞，

所述ESD保护器件还包括第一及第二外部端子电极，该第一及第二外部端子电极形成在所述绝缘体基材的表面上，且分别与所述第一及第二放电电极进行电连接。

8.一种ESD保护器件的制造方法，其特征在于，包括：

准备合金粉末的工序，所述合金粉末由包含第一金属、比所述第一金属更容易发生氧化的第二金属、以及熔点比所述第一金属要低的杂质成分的合金构成；

准备绝缘体基材的工序；

在所述绝缘体基材上形成包含所述合金粉末的未烧成的放电辅助电极的工序；

在所述绝缘体基材的表面或内部形成第一及第二放电电极的工序，所述第一及第二放电电极以彼此相对的方式配置于所述放电辅助电极上；以及

将所述未烧成的放电辅助电极进行烧成的工序，

所述进行烧成的工序包括：

在具有第一金属不发生氧化而第二金属发生氧化的氧浓度的气氛下进行热处理的工序，从而在构成所述合金粉末的各粒子中，使所述第二金属向该粒子的表面移动，在到达表面的时刻发生氧化，成为包含所述第二金属的金属氧化物，以该金属氧化物形成壳部，并且，以所述第二金属向所述粒子的表面移动而残留下来的第一金属为主要成分的金属粒子形成为核部，由此获得核壳结构粒子；以及

使得成为所述核壳结构粒子中的所述核部的所述金属粒子发生变形，以使分形维数大于等于1.03的工序。

9.如权利要求8所述的ESD保护器件的制造方法，其特征在于，

准备所述合金粉末的工序包含使用喷雾法来制造所述合金粉末的工序。

10.如权利要求8或9所述的ESD保护器件的制造方法，其特征在于，

所述杂质成分是从铋、磷及银中选出的至少一种。