[发明专利]用于半导体加工的使用交流驱动的多路复用加热器阵列

权利要求书

1.一种用于衬底支撑组件的加热板，该衬底支撑组件用于在半导体加工装置中支撑半导体衬底，所述加热板包括：

第一电气绝缘层；

多个加热器区，包括至少第一、第二、第三和第四加热器区，所述加热器区分布在所述第一电气绝缘层上，并且能操作来调节所述衬底上的空间温度分布；

多个二极管，包括至少第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七和第八二极管；

多个第一电源线，包括经由所述第一二极管电气连接到所述第一加热器区和经由所述第三二极管电气连接到所述第二加热器区的第一导电分支传输线、经由所述第二二极管电气连接到所述第一加热器区和经由所述第四二极管电气连接到所述第二加热器区的第三导电分支传输线、经由所述第五二极管电气连接到所述第三加热器区和经由所述第七二极管电气连接到所述第四加热器区的第二导电分支传输线以及经由所述第六二极管电气连接到所述第三加热器区和经由所述第八二极管电气连接到所述第四加热器区的第四导电分支传输线；以及

多个第二电源线，至少包括电气连接到所述第一加热器区和所述第三加热器区的第一导电公共传输线以及电气连接到所述第二加热器区和所述第四加热器区的第二导电公共传输线，

其中所述第一电源线和/或所述第二电源线在空间上布置成使所述加热板上方的电磁场最小化并且减小由这种电磁场引起的等离子体的不均匀性；

其中每个加热器区包括至少一个电阻加热器元件。

2.根据权利要求1所述的加热板，

其中：

所述第一二极管的阳极连接到所述第一导电分支传输线上，并且所述第一二极管的阴极连接到所述第一加热器区上；

所述第二二极管的阳极连接到所述第一加热器区上，并且所述第二二极管的阴极连接到所述第三导电分支传输线上；

所述第三二极管的阳极连接到所述第一导电分支传输线上，并且所述第三二极管的阴极连接到所述第二加热器区上；

所述第四二极管的阳极连接到所述第二加热器区上，并且所述第四二极管的阴极连接到所述第三导电分支传输线上；

所述第五二极管的阳极连接到所述第二导电分支传输线上，并且所述第五二极管的阴极连接到所述第三加热器区上；

所述第六二极管的阳极连接到所述第三加热器区上，并且所述第六二极管的阴极连接到所述第四导电分支传输线上；

所述第七二极管的阳极连接到所述第二导电分支传输线上，并且所述第七二极管的阴极连接到所述第四加热器区上；

所述第八二极管的阳极连接到所述第四加热器区上，并且所述第八二极管的阴极连接到所述第四导电分支传输线上。