[发明专利]旋涂硬掩模材料

权利要求书

1.一种用于形成旋涂硬掩模的组合物，所述组合物包含：

a.由以下通式表示的富勒烯衍生物，

其中n是1-6的整数，所述富勒烯中的碳原子的数目Q是60、70、76、78、80、82或84，R¹表示包括酯、醇、酚、胺、酰胺、酰亚胺或羧酸的第一取代基，并且R²表示包括氢、卤素、C₆-C₂₀芳基、C₁-C₂₀烷基、酯、醇、酚、胺、酰胺、酰亚胺或羧酸的第二取代基；

b.交联剂，所述交联剂包含两个以上热反应性基团或催化反应性基团。

2.根据权利要求1所述的组合物，所述组合物还包含一种或多种热致酸生成物。

3.根据权利要求2所述的组合物，其中所述一种或多种热致酸生成物选自有机磺酸的烷基酯、有机磺酸的脂环族酯、有机磺酸的胺盐、有机磺酸的2-硝基苄酯、有机磺酸的4-硝基苄酯、有机磺酸的苯偶姻酯、有机磺酸的β-羟基烷基酯、有机磺酸的β-羟基环烷基酯、有机磺酸的三芳基锍盐、有机磺酸的烷基二芳基锍盐、有机磺酸的二烷基芳基锍盐、有机磺酸的三烷基锍盐、有机磺酸的二芳基碘盐、有机磺酸的烷基芳基锍盐或三(有机磺酰基)甲基化物的铵盐。

4.根据权利要求2所述的组合物，所述组合物还包含一种或多种光致酸生成物。

5.根据权利要求4所述的组合物，其中所述一种或多种光致酸生成物选自卤化三嗪、有机磺酸的2-硝基苄酯、有机磺酸的4-硝基苄酯、有机磺酸的三芳基锍盐、有机磺酸的烷基二芳基锍盐、有机磺酸的二烷基芳基锍盐、有机磺酸的二芳基碘盐、有机磺酸的烷基芳基锍盐、n-有机磺酰氧基二环[2.2.1]-庚-5-烯-2，3-二甲酰亚胺或1，3-二氧代异吲哚啉-2-基有机磺酸盐。

6.根据任一前述权利要求所述的组合物，其中所述交联剂选自环氧化酚醛树脂、环氧化甲酚树脂、环氧化双酚A树脂、环氧化双酚A酚醛清漆树脂、环氧化双酚树脂、烷醇甲基三聚氰胺树脂、烷醇甲基甘脲树脂、烷醇甲基胍胺树脂、烷醇甲基苯并胍胺树脂、糖基脲树脂或异氰酸酯树脂。

7.根据任一前述权利要求所述的组合物，其中所述旋涂硬掩模还包含选自以下各项的一种或多种溶剂：聚乙二醇一甲基醚乙酸酯、乳酸乙酯、茴香醚、甲苯、氯仿、氯苯、邻二氯苯、间二氯苯、对二氯苯、邻二甲苯、间二甲苯、对二甲苯、二硫化碳或其组合。

8.一种用于形成旋涂硬掩模的方法，所述方法包括：

a.提供组合物，所述组合物包含：

i.由以下通式表示的富勒烯衍生物，

其中n是1-6的整数，所述富勒烯中的碳原子的数目Q为60、70、76、78、80、82或84，R¹表示包括酯、醇、酚、胺、酰胺、酰亚胺或羧酸的第一取代基，并且R2表示包括氢、卤素、C₆-C₂₀芳基、C₁-C₂₀烷基、酯、醇、酚、胺、酰胺、酰亚胺或羧酸的第二取代基；和

ii交联剂，所述交联剂具有两个以上热反应性基团或催化反应性基团；

b.在基板上形成涂层；和

c.在足以交联所述涂层的温度加热所述基板和所述涂层。

9.根据权利要求8所述的方法，其中所述组合物还包含一种或多种热致酸生成物。

10.根据权利要求9所述的方法，其中所述一种或多种热致酸生成物选自有机磺酸的烷基酯、有机磺酸的脂环族酯、有机磺酸的胺盐、有机磺酸的2-硝基苄酯、有机磺酸的4-硝基苄酯、有机磺酸的苯偶姻酯、有机磺酸的β-羟基烷基酯、有机磺酸的β-羟基环烷基酯、有机磺酸的三芳基锍盐、有机磺酸的烷基二芳基锍盐、有机磺酸的二烷基芳基锍盐、有机磺酸的三烷基锍盐、有机磺酸的二芳基碘盐、有机磺酸的烷基芳基锍盐或三(有机磺酰基)甲基化物的铵盐。

11.根据权利要求8所述的方法，其中所述组合物还包含一种或多种光致酸生成物。