[发明专利]光学传感器和电子设备有效
申请号: | 201380005481.9 | 申请日: | 2013-03-06 |
公开(公告)号: | CN104053974B | 公开(公告)日: | 2017-03-08 |
发明(设计)人: | 植松彰;寺岛义幸;佐藤阳一;松尾笃 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G01J1/06 | 分类号: | G01J1/06;G01J3/26;H01L27/14;A61B5/0245;A61B5/1455;G01N21/27 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人: | 余刚,吴孟秋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光学 传感器 电子设备 | ||
技术领域
本发明涉及光学传感器和电子设备等。
背景技术
例如在专利文献1中发表了作为光学传感器中一种的图像传感器具有光吸収膜(遮光物质)而防止相邻的光电转换元件(受光元件)之间的光串扰的技术。
先行技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2006-13520号公报
发明内容
发明拟解决的课题
目前考虑这样的光学传感器,即,例如利用上述的遮光物质形成限制入射光向受光元件入射的入射角度的角度限制滤波器,在该角度限制滤波器之上再形成分光滤波器(分光フィルター)。例如,为了提高分光滤波器的分光特性而使用角度限制滤波器。像这样地在角度限制滤波器之上形成分光滤波器的情况下,如果从分光滤波器的侧面射入的光通过了角度限制滤波器,则具有分光特性降低的问题。
根据本发明的几个方面,可以提供抑制分光特性降低的光学传感器和电子设备等。
用于解决课题的手段
本发明的一个方面涉及一种光学传感器,包括:受光元件、使射入所述受光元件的受光区域的入射光中的特定波长的光透过的光学滤波器、以及限制透过所述光学滤波器的所述入射光的入射角度的角度限制滤波器,其中,在将所述角度限制滤波器的限制角度设为θA、将从所述角度限制滤波器的上表面到所述光学滤波器的上表面的高度设为RTP的情况下,若将对所述角度限制滤波器的所述上表面的俯视观察中从所述光学滤波器的端部到所述角度限制滤波器的开口的端部的距离设为交迭距离OV,则满足tan-1(OV/RTP)>θA。
根据本发明的一个方面,从光学滤波器的端部到角度限制滤波器的开口端部的距离、即交迭距离OV满足tan-1(OV/RTP)>θA。由此,可以抑制分光特性下降。
另外,在本发明的一个方面中,在设所述角度限制滤波器的所述开口的宽度为d、所述角度限制滤波器的高度为RA的情况下,所述限制角度也可以是θA=tan-1(d/RA)。
这样,通过调整角度限制滤波器的开口宽度和高度,从而可以设定限制角度,相对于所设定的限制角度,可以设定满足tan-1(OV/RTP)>θA的交迭距离。
另外,在本发明的一个方面中,所述光学传感器也可以包括形成于所述角度限制滤波器与所述光学滤波器之间的保护膜,在设所述保护膜的高度为RP、所述光学滤波器的高度为RT的情况下,从所述角度限制滤波器的上表面到所述光学滤波器的上表面的高度也可以是RTP=RP+RT。
需注意的是,本发明的一个方面并不仅限于此,例如在不设置保护膜的情况下,也可以是RTP=RT。或者,若在角度限制滤波器与光学滤波器之间还另外设有厚度为RP’的其它层,则也可以是RTP=RP+RP’+RT。
另外,在本发明的一个方面中,在设所述入射光的波长为λ、所述角度限制滤波器的高度为RA、所述角度限制滤波器的开口的宽度为d的情况下,也可以满足d2/(λ×RA)≥2。
这样一来,可以按满足d2/(λ×RA)≥2的条件的尺寸形成角度限制滤波器。由此,可以高精度地控制对到达受光元件的光的入射角度进行限制的限制角度。
另外,在本发明的一个方面中,所述限制角度也可以满足θA=tan-1(d/RA)<60°。
由于即使是没有角度限制滤波器的情况下也可以得到60°的限制角度,因此,通过设定满足tan-1(d/RA)<60°的限制角度,从而可以有效地进行角度限制滤波器的角度制限。
另外,在本发明的一个方面中,光学传感器也可以是用于对所述入射光进行分光的分光传感器。
另外,在本发明的一个方面中,光学传感器也可以是用于测量所述入射光的照度的照度传感器。
另外,在本发明的一个方面中,光学传感器也可以是用于测量光源的仰角的仰角传感器。
另外,本发明的其它方面涉及包括上述任一所述的光学传感器的电子设备。
附图说明
图1是光学传感器的比较例。
图2中的图2(A)是光学传感器的比较例的分光特性例,图2(B)是短通滤波器(ショートパスフィルター)与长通滤波器(ロングパスフィルター)的分光特性例。
图3是本实施方式的光学传感器的构成例。
图4是本实施方式的光学传感器的分光特性例。
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