[发明专利]多光束耦合装置

权利要求书

1.一种多光束耦合装置，其具备：

相移部，其通过使多个激光各自的相位位移，生成多个位移激光；

叠加部，其通过将所述多个位移激光的每一个和参照光叠加，生成多个叠加激光；

观测部，其生成与观测所述多个叠加激光的每一个时出现的空间的干涉图形相关的干涉图形信息；

相位控制部，其基于对所述多个叠加激光的每一个得到的所述干涉图形信息，反馈控制由所述相移部进行的相移，由此，将所述多个位移激光设定为希望的状态。

2.如权利要求1所述的多光束耦合装置，其中，

所述观测部具备以观测所述多个叠加激光的每一个的方式设置的多个观测装置，

所述多个观测装置分别具备在多个观测位置观测对应的一个叠加激光的强度的多个传感器，

所述干涉图形信息包含在所述多个观测位置分别观测的所述强度。

3.如权利要求2所述的多光束耦合装置，其中，

基于在所述多个观测位置分别观测的所述强度定义干涉图形参数，

所述相位控制部以与所述多个叠加激光分别相关的所述干涉图形参数与目标值一致的方式反馈控制所述相移部进行的所述相移。

4.如权利要求3所述的多光束耦合装置，其中，

所述多个传感器的数量为2个，

所述2个传感器观测两处观测位置各自的所述强度，

所述干涉图形参数取决于所述两处观测位置之间的所述强度之比、或梯度、或差。

5.如权利要求4所述的多光束耦合装置，其中，

所述相位控制部以所述两处观测位置各自的所述强度相等或为规定的值的方式反馈控制所述相移部进行的所述相移。

6.如权利要求1～5中任一项所述的多光束耦合装置，其中，

还具备放大所述多个位移激光的每一个的光束放大部。

7.如权利要求1～6中任一项所述的多光束耦合装置，其中，还具备：

激光振荡器，其生成基本激光；

分束部，其将所述基本激光分束为所述多个激光和所述参照光。

8.如权利要求7所述的多光束耦合装置，其中，

通过所述分束部生成的所述参照光不通过移频器而达到所述叠加部。