[发明专利]用于集成电路装置的膜内插器

权利要求书

1.一种组装方法，包括：

将具有柱状互连的膜内插器的第一侧附连到从由集成电路封装、集成电路管芯和衬底所组成的组中选取的第一元件，其中所述第一侧附连包括将所述膜内插器的光子组件与所述第一元件的光子组件光学对齐；以及

将所述膜内插器的第二侧附连到从由集成电路封装、集成电路管芯和衬底所组成的组中选取的第二元件，

所述方法还包括经过所述膜内插器的所述第一侧上的电触点层、柱状电互连的柱状互连层、横向电互连的布线层和所述膜内插器的所述第二侧上的电触点层来传播输入/输出信号。

2.如权利要求1所述的方法，其中，所述膜内插器的所述光子组件包括第一光腔，并且其中所述光学对齐包括将所述第一元件的所述光子组件与所述膜内插器的所述第一光腔光学对齐，使得光信号可在所述第一元件的所述光子组件与所述膜内插器的所述第一光腔之间传播。

3.如权利要求2所述的方法，其中，所述第一光腔包括反射器，所述反射器定向成经过所述膜内插器的波导将所述光信号从所述膜内插器的所述第一光腔反射到所述膜内插器的第二光腔，所述第二光腔具有定向成反射来自所述第二光腔的所述光信号的反射器，其中所述方法还包括将所述膜内插器的所述第一侧附连到从由集成电路封装、集成电路管芯和衬底所组成的组中选取的第三元件，其中所述第三元件的所述第一侧附连包括将所述第二光腔的所述反射器光学对齐到所述第三元件的光子组件，使得光信号可在所述第一元件的所述光子组件与所述第三元件的所述光子组件之间、经过所述膜内插器的所述第一光腔、所述波导和所述第二光腔传播。

4.如权利要求2所述的方法，其中，所述第一光腔包括反射器，所述反射器定向成经过所述膜内插器的波导将所述光信号从所述膜内插器的所述第一光腔反射到所述膜内插器的第二光腔，所述第二光腔具有定向成反射来自所述第二光腔的所述光信号的反射器，其中所述第二侧附连包括将所述第二光腔的所述反射器光学对齐到所述第二元件的光子组件，使得光信号可在所述第一元件的所述光子组件与所述第二元件的所述光子组件之间、经过所述膜内插器的所述第一光腔、所述波导和所述第二光腔传播。

5.如权利要求2所述的方法，其中，所述膜内插器是第一膜内插器，并且其中所述第一光腔包括反射器，所述反射器定向成通过所述第一膜内插器的内部波导来反射来自所述第一膜内插器的所述第一光腔的所述光信号，所述方法还包括将所述第一膜内插器的所述内部波导光学耦合到与从由集成电路封装、集成电路管芯、衬底和第二膜内插器所组成的组中选取并且与第一膜内插器以及第一和第二元件间隔开的外部第三元件的光子组件光学耦合的外部波导，使得光信号可在所述第一元件的所述光子组件与所述第三元件的所述光子组件之间、经过所述外部波导以及所述第一膜内插器的所述内部波导和所述第一光腔传播。

6.如权利要求2所述的方法，其中，所述第一光腔完全穿过所述膜内插器的主体，并且其中所述第二侧附连包括将所述第一光腔光学对齐到所述第二元件的光子组件，使得光信号可在所述第一元件的所述光子组件与所述第二元件的所述光子组件之间、经过与所述第一和第二元件的所述光子组件光学对齐的所述膜内插器的所述光腔传播。

7.如权利要求1所述的方法，其中，所述第一侧附连包括将所述膜内插器的所述第一侧上设置的电触点接合到所述第一元件上的电触点；并且其中所述第二侧附连包括将所述膜内插器的所述第二侧上设置的电触点接合到所述第二元件上的电触点；

其中所述第一元件经过至少部分穿过所述膜内插器的主体的所述柱状互连来电耦合到所述第二元件。