[发明专利]用于测量两个空间上分离的元件之间的角度的方法

权利要求书

1.一种用于测量两个空间上分离的元件(1,2)之间的角度的方法，所述方法具有以下步骤：

-提供具有多个干涉图案(31,31',31)的多重全息图(3)，至少两个干涉图案(31,31',31)在全息图平面(30)上具有物光波(401)的不同的入射角(32,32',32)，所述入射角(32,32',32)被以计算机可读方式存储为数据；

-将所述多重全息图(3)布置在第一元件(1)上的第一元件平面(10)中；

-使用参考光波(400)来照射所述多重全息图(3)；

-将光检测器(6)布置在第二元件(2)的第二元件平面(20)中；

-使用所述光检测器(6)来获得在干涉图案(31,31',31)上衍射的参考光波(400')；

-根据所获得的衍射参考光波(400')形成强度图案(61,61',61)；

-将存储为数据的计算机可读入射角(32,32',32)分配给所述强度图案(61,61',61)；以及

-根据所分配的入射角(32,32',32)来计算所述第一元件平面(10)和所述第二元件平面(20)之间的角度。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述不同的入射角(32,32',32)经历彼此离散的非连续分布，并且能够被个别地读出的离散数目的独立干涉图案(31,31',31)叠加在所述多重全息图(3)的单元中。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，强度图案(61,61',61)是多个形状的扁平延伸布置，所述扁平延伸布置能够明确地与剩余的表面区分，其中强度图案(61,61',61)具有机器可读信息内容，特别地呈码的形式。

4.根据前述权利要求中任何一项所述的方法，其特征在于，在参考坐标系(K)中指定所述第二元件平面(20)的坐标；在所述参考坐标系(K)中指定所分配的入射角(32,32',32)的坐标；并且，在步骤h)中，根据所述第二元件平面(20)的坐标与所分配的入射角(32,32',32)的坐标的差计算所述角度。

5.根据前述权利要求中任何一项所述的方法，其特征在于，使用具有方位角坐标(θ)和极角坐标的参考坐标系(K)；并且

在步骤h)中，同时地测量所述角度的所述方位角坐标(θ)和所述极角坐标

6.根据前述权利要求中任何一项所述的方法，其特征在于，角度信号(52,52',52)被以计算机可读方式存储为数据，所述数据具有所述入射角(32,32',32)并且具有物体(41,41',41)；

在步骤g)中，将所述强度图案(61,61',61)与所述计算机可读数据存储的物体(41,41',41)比较；并且

在所述强度图案(61,61',61)对应于物体(41,41',41)情况下，所述对象(41,41',41)的入射角(31,31',31)被分配给所述强度图案(61,61',61)。

7.根据前述权利要求中任何一项所述的方法，其特征在于，在步骤c)中，以下辅助信息中的至少一个被从所述光源(4)发送到所述光检测器(6)：

-所述多重全息图(3)的类型、

-所述干涉图案(31,31',31)的版本、

-角度信号(52,52',52)。

8.根据前述权利要求中任何一项所述的方法，其特征在于，二维条形码用作所述强度图案(61,61',61)。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，在步骤g)中，所述二维条形码的信息内容被读出，该信息内容指定所述入射角(32,32',32)；并且

该读出的入射角(32,32',32)被分配给所述强度图案(61,61',61)。

10.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，在步骤e)中，在参考坐标系(K)中获得衍射参考光波(400')；

所述二维条形码与所述参考坐标系(K)的空间对准的偏离被测量为所述光检测器(6)的横摇角

11.根据前述权利要求中任何一项所述的方法，其特征在于，在步骤c)中，使用所述参考光波(400)以恒定的参考光角度来照射所述多重全息图(3)和/或，在步骤c)中，由静止的参考光源(4)使用所述参考光波(400)以恒定的参考光角度来照射所述多重全息图(3)。