[发明专利]等离子体反应器及利用该反应器的等离子体点火方法

权利要求书

1.一种等离子体反应器，其特征在于，包括：

磁芯，具有变压器初级线圈；

交流电源供给源，用于向卷绕于所述磁芯的变压器初级线圈供给交流电力；

等离子体腔室主体，设置有所述磁芯，通过所述磁芯，电压直接感应，从而感应产生感应电动势；及

浮动腔室，通过绝缘区域与所述等离子体腔室主体连接，从所述等离子体腔室主体间接传导感应电动势，

其中，根据从所述交流电源供给源供给的交流电力的相位变化而在所述等离子体腔室主体与所述浮动腔室之间产生电压差，根据该点压差发生等离子体点火，并供给至工艺腔室。

2.根据权利要求1所述的等离子体反应器，其特征在于，

所述等离子体腔室主体与所述浮动腔室以一字形在内部具有一个放电路径。

3.根据权利要求2所述的等离子体反应器，其特征在于，

所述等离子体反应器包括分别设置有所述磁芯的多个等离子体腔室主体。

4.根据权利要求1所述的等离子体反应器，其特征在于，

所述等离子体腔室主体与浮动腔室以环状在内部具有一个环状的放电路径。

5.根据权利要求4所述的等离子体反应器，其特征在于，

所述等离子体反应器包括设置有四个以上的磁芯以在环状的放电路径上呈对称结构的多个等离子体腔室主体。

6.根据权利要求1所述的等离子体反应器，其特征在于，

所述等离子体腔室主体与浮动腔室由同一材质构成。

7.根据权利要求6所述的等离子体反应器，其特征在于，

所述同一材质为铝。

8.根据权利要求6所述的等离子体反应器，其特征在于，

所述同一材质为导体或电介质中任一个。

9.根据权利要求8所述的等离子体反应器，其特征在于，

所述电介质为陶瓷。

10.根据权利要求8所述的等离子体反应器，其特征在于，

所述等离子体腔室主体与所述浮动腔室由电介质形成，在所述等离子体腔室主体或所述浮动腔室的外周面形成有导体层。

11.根据权利要求1所述的等离子体反应器，其特征在于，

所述绝缘区域由电介质形成，所述绝缘区域包括用于真空绝缘的橡胶。

12.根据权利要求11所述的等离子体反应器，其特征在于，

所述电介质为陶瓷。

13.根据权利要求1所述的等离子体反应器，其特征在于，

所述绝缘区域的宽度取决于从所述交流电源供给源供给的交流电力的电压强度。

14.根据权利要求1所述的等离子体反应器，其特征在于，

所述浮动腔室包括：

电阻，用于对在等离子体工艺之后带电的电荷进行放电；及

开关电路，用于在供给至工艺腔室的等离子体工艺之后连接所述电阻与所述浮动腔室。

15.一种等离子体反应器，其特征在于，包括：

磁芯，具有变压器初级线圈；

交流电源供给源，用于向卷绕于所述磁芯的变压器初级线圈供给交流电力；

等离子体腔室主体，设置有所述磁芯，通过所述磁芯，电压直接感应，从而感应产生感应电动势；及

多个浮动腔室，通过绝缘区域与所述等离子体腔室主体连接，从所述等离子体腔室主体间接传导感应电动势，

其中，所述多个浮动腔室通过绝缘区域连接，根据从所述交流电源供给源供给的交流电力的相位变化而在所述等离子体腔室主体与所述浮动腔室之间产生电压差，根据该电压差发生等离子体点火，并供给至工艺腔室。

16.根据权利要求15所述的等离子体反应器，其特征在于，

所述等离子体腔室主体与所述浮动腔室以一字形在内部具有一个放电路径。

17.根据权利要求16所述的等离子体反应器，其特征在于，

所述等离子体反应器包括分别设置有所述磁芯的多个等离子体腔室主体。

18.根据权利要求15所述的等离子体反应器，其特征在于，

所述等离子体腔室主体与浮动腔室以环状在内部具有环状的放电路径。