[发明专利]采用3D纳米微粒结构体的光学装置

权利要求书

1.一种用于制造纳米微粒结构体的方法，其特征在于，包括步骤：

1）将衬底设置在反应器内，并随后施加电场；其中所述衬底具有由带有穿孔图案的掩膜层所形成的微米或纳米图案；

2）通过电晕放电产生离子，随后在设置在反应器内的衬底的微米/纳米图案上积聚离子；

3）通过对火花放电室内的纳米微粒前驱体进行火花放电，形成带电纳米微粒和离子；以及

4）将所述带电纳米微粒和离子引入所述反应器内；随后将与步骤2）中在所述微米/纳米图案表面上积聚的离子极性相同的带电纳米微粒聚焦沉积在所述衬底的所述微米/纳米图案的穿孔部分。

2.根据权利要求1所述的用于制造纳米微粒结构体的方法，其特征在于，所述步骤2）中的电晕放电通过向电晕放电室施加范围从1kV到10kV之间的电压而产生。

3.根据权利要求1所述的用于制造纳米微粒结构体的方法，其特征在于，所述步骤3）中的火花放电通过向火花放电室施加范围从5kV到10kV之间的电压而产生。

4.根据权利要求1所述的用于制造纳米微粒结构体的方法，其特征在于，所述纳米微粒前驱体为导电材料、覆盖有非导电材料的导电材料，或半导体材料。

5.根据权利要求1所述的用于制造纳米微粒结构体的方法，其特征在于，所述步骤1）中的电场通过向反应器施加范围从-5kV到5kV之间的电压而形成。

6.根据权利要求1所述的用于制造纳米微粒结构体的方法，其特征在于，所述步骤2）中所产生的离子，以及所述步骤3）中所产生的带电纳米微粒和离子通过采用运载气体而引入至所述步骤3）的反应器内；其中所述运载气体从氮气、氦气和氩气中选择。

7.一种具有3D形状的纳米微粒结构体，其特征在于，根据权利要求1-6所述方法中的任一种制造而成。

8.根据权利要求7所述的纳米微粒结构体，其特征在于，具有五片或五片以上花瓣的花朵的图像。

9.根据权利要求7所述的纳米微粒结构体，其特征在于，由一种或一种以上的纳米微粒组成。

10.一种由权利要求7所述的纳米微粒结构体所制得的生物传感器装置。

11.一种由权利要求7所述的纳米微粒结构体所制得的太阳能电池装置。