[发明专利]致动器及具有该致动器的精密机械

说明书

技术领域

本发明涉及致动器，该致动器具有通过带驱动沿着导轨往复运动的滑动件。

背景技术

过去，在高精度的制造装置、检查装置、输送装置等中，基于旋转马达的带驱动采用滑动件沿着导轨往复运动的致动器。构成该致动器的滑动件具有相对于导轨的轴承。关于这种致动器的现有示例，可以举出专利文献1和2记载的致动器。

专利文献1和2记载的致动器具有沿着不同的导轨移动的主轴承（固定搭载物的滑动件）和反轴承（滑动件）。这些轴承具有与各导轨之间形成静压空气轴承的静压垫。在专利文献1和2中记载了通过使主轴承和反轴承（counter bearing）向相反方向移动，能够抑制在加速时或者减速时等产生的主轴承的反作用力，实现对振动的抑制。

在专利文献1记载的致动器的一例中，截面为圆形的导轨和反导轨（counter guide rail）被排列配置，在具有向下延伸的旋转轴的带轮之间架设的环形带，使用板片状的固定件被分别固定在主轴承和反轴承上。

在专利文献1记载的致动器的另一例中，致动器具有两个主轴承和一个反轴承，两个主轴承隔开规定的间隔被保持在外壳上，外壳在主轴承之间具有凹部，在面对该凹部的位置配置反轴承。环形带使用板片状的固定件分别固定在主轴承用的外壳的凹部内和反轴承的面对所述凹部的位置。

在专利文献2记载的致动器中，主轴承用的导轨具有凹状的截面形状（导轨的截面呈“コ”形状），环形带配置在导轨的凹部内。

在作为实施方式被记载于专利文献2的致动器的示例中，以中央低一台阶的方式弯折的固定件的两端被固定于主轴承的左右的顶板上。并且，一对反轴承配置在主轴承的各顶板的上方，与主轴承用相同的固定件的两端被固定在两个反轴承上。并且，环形带被固定在两个固定件的中央部（比两端低、且被配置在导轨的凹部与左右的反轴承之间的部分）。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2001－248703号公报

专利文献2：日本特开2008－101642号公报

发明概要

发明要解决的问题

在专利文献1和2记载的致动器中，如前面所述，驱动带与滑动件（主轴承和反轴承）及导轨接近，驱动带和滑动件的接合部位有两处。因此，在专利文献1和2记载的致动器中，在驱动带的维护（更换和更换后的校准调整等）的作业性方面还有改善的余地。

本发明的课题是，在具有通过带驱动沿着导轨往复运动的滑动件的致动器中，改善驱动带的维护的作业性。

用于解决问题的技术方案

为了解决上述课题，本发明的一个方式的致动器具有以下要素（1）～（4），并且满足下述的要件（5）。

（1）被架设在驱动带轮与从动带轮之间的驱动带。

（2）在所述驱动带的宽度方向两侧排列配置的两条导轨。

（3）通过所述驱动带的驱动沿着所述各导轨往复运动的两个滑动件。

（4）连接板，所述两个滑动件隔开规定的间隔固定于该连接板，所述驱动带被固定在所述两个滑动件之间。

（5）所述驱动带配置在所述两个滑动件的重心位置或者其附近，所述驱动带与所述滑动件的接合部位仅是所述连接板的固定有两个滑动件的部分之间的部分。

即，本发明的一个方式的致动器是具有所述要素（1）～（4）的致动器，其特征在于，满足所述要件（5）。

根据本方式的致动器，驱动带与滑动件及导轨被排列配置，所述驱动带与滑动件的接合部位仅是连接板的固定有两个滑动件的部分之间的部分，因而通过从连接板卸下驱动带，即可容易进行驱动带的更换。

另外，被更换安装的驱动带的校准调整能够从连接板的相反侧进行。因此，与驱动带和滑动件的接合部位有两处的致动器相比，驱动带的维护的作业性得到改善。

本方式的致动器具有覆盖所述驱动带的罩，所述罩能够从所述连接板的相反侧进行装卸。

优选的是，在本方式的致动器中，所述导轨具有凹状的截面形状，所述滑动件具有与所述导轨之间形成静压空气轴承的静压垫。

本发明的一个方式的致动器能够适合用作精密机械（精密加工机械、精密检查装置、精密扫描装置、半导体器件制造装置、扁平面板显示器制造装置等）的直线引导致动器。

发明效果

根据本发明的致动器，与过去的致动器相比，能够改善驱动带的维护的作业性。

附图说明

图1是表示实施方式的致动器的俯视图。

图2是沿图1的A-A线的剖视图。

图3是沿图1的B-B线的剖视图。