[实用新型]一种机械手臂叶板

说明书

技术领域

本实用新型涉及机械手臂叶板，尤其涉及一种具有内嵌式晶片承载座的机械手臂叶板。

背景技术

晶圆片的生产与制作属极为精密的加工技术，故其通常需借助各种特殊功能的机械手臂来进行运输传递等作业，然一般晶圆片制造过程也须由真空腔体中进行制程堆叠制造，其真空腔体中需由非真空吸附机械手臂运送转移制程，其传输过程中仅由晶圆片本身重力及金属表面的摩擦力使之固定，为保持原有统晶圆片定位精度及预防统晶圆片掉落的可能，非真空吸附机械手臂运送转移速度必须十分缓慢来维持精准度，而导致机台生产效率不高。

实用新型内容

本实用新型的目的是在于提供一种机械手臂叶板，能确保提升晶圆片可快速稳定精准传递运输性。

根据本实用新型的一个方面，提供一种机械手臂叶板，包括叶板和承载座，所述叶板为至少设有一个以上之定位孔薄板片，其各定位孔内径中设有内凸环；所述承载座为可供嵌入定位孔的弹性橡胶材质本体，该本体上端设有向上开口的吸附盘，该吸附盘中央设有透气孔，所述本体下端外环中设有内凹环，可供嵌入各定位孔的内凸环，形成内嵌式公母扣固设计。

本实用新型结构简单、使用方便，能确保提升晶圆片可快速稳定精准传递运输性。

附图说明

图1是本实用新型一种机械手臂叶板的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图说明，对本实用新型作进一步详细说明。

如图1所示，一种机械手臂叶板，包括叶板1及承载座2所组成；叶板1为薄板片，且至少设有四个定位孔12A、12B、12C、12D，各定位孔内径中设有内凸环13。承载座2为可供嵌入定位孔的弹性橡胶材质本体，该本体上端设有向上开口的吸附盘21，其吸附盘中央凿设有透气孔211，此外本体下端外环中设有内凹环23，可供嵌入各定位孔的内凸环13。

综上所述，本实用新型结构简单、使用方便，能确保提升晶圆片可快速稳定精准传递运输性。

以上所述仅是本实用新型的一种实施方式，应当指出，对于本领域普通技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做出若干相似的变形和改进，这些也应视为本实用新型的保护范围之内。