[实用新型]一种真空设备中抽真空系统气体抽除速度测量装置

权利要求书

1.一种真空设备中抽真空系统气体抽除速度测量装置，所述真空设备包括真空容器、真空机组和抽真空管道，其特征在于，所述测量装置包括真空传感器、定流量进气装置和控制装置，所述真空传感器和所述定流量进气装置均连通设置在所述抽真空管道上，所述控制装置以电气测控形式连接所述真空传感器和所述定流量进气装置，所述定流量进气装置包括多个并联设置的微定流量器，每个所述微定流量器均包括两个相通的第一通口和第二通口，所述第一通口与所述抽真空管道连通，所述第二通口连通阀门。 

2.如权利要求1所述的真空设备中抽真空系统气体抽除速度测量装置，其特征在于，所述微定流量进气器为音速喷嘴。 

3.如权利要求1所述的真空设备中抽真空系统气体抽除速度测量装置，其特征在于，所述阀门为电磁阀。 

4.如权利要求1所述的真空设备中抽真空系统气体抽除速度测量装置，其特征在于，所述微定流量器分别为Q1、Q2…、Qx、…Qn，对应的进气流量分别为S1、S2…、Sx、…Sn，各所述微定流量器的进气流量满足下列关系：Sx＝2^x×S1。 

5.如权利要求4所述的真空设备中抽真空系统气体抽除速度测量装置，其特征在于，所述n为5。 

6.如权利要求4所述的真空设备中抽真空系统气体抽除速度测量装置，其特征在于，所述微定流量进气器Q1、Q2…、Qx、…Qn之间能够任意组合开启。 

7.如权利要求1所述的真空设备中抽真空系统气体抽除速度测量装置，其特征在于，所述真空传感器安装于测量室，所述测量室通过一阀门连通所述抽真空管道。 

8.如权利要求1所述的真空设备中抽真空系统气体抽除速度测量装置，其特征在于，所述真空机组包括多个组合设置的真空泵。