[实用新型]一种基于外循环式水加热系统的多晶硅脱胶清洗水槽

权利要求书

1.一种基于外循环式水加热系统的多晶硅脱胶清洗水槽，其特征在于：包括内部装有硅片清洗用水的水槽（1）、对水槽（1）内水温进行实时检测的温度检测单元（4）和对水槽（1）内所装水进行加热的外循环式水加热系统；所述外循环式水加热系统包括加热柜（2），所述加热柜（2）与水槽（1）之间通过水循环管道进行连通，所述水循环管道上安装有循环泵（3），所述加热柜（2）包括柜体和布设在所述柜体内的电加热器（5），所述柜体的内侧壁上均铺装有一层保温层（6）；所述水循环管道包括进水管（7）和出水管（8），所述进水管（7）的一端伸入至水槽（1）内且其另一端与所述柜体上所开的进水口相接，所述出水管（8）的一端伸入至水槽（1）内且其另一端与所述柜体上所开的出水口相接，所述进水管（7）和出水管（8）均与电加热器（5）内部相通；所述温度检测单元（4）与信号采集电路（9）相接，所述信号采集电路（9）与温控器（10）相接，所述电加热器（5）和循环泵（3）均由温控器（10）进行控制且二者均与温控器（10）相接；所述柜体上部装有排气管（11），所述排气管（11）与电加热器（5）内部相通。

2.按照权利要求1所述的一种基于外循环式水加热系统的多晶硅脱胶清洗水槽，其特征在于：所述进水口位于所述柜体下部，且所述出水口位于所述柜体上部。

3.按照权利要求1或2所述的一种基于外循环式水加热系统的多晶硅脱胶清洗水槽，其特征在于：所述电加热器（5）的供电回路中串接有电控开关（12），所述电控开关（12）由温控器（10）进行控制且其与温控器（10）相接。

4.按照权利要求1或2所述的一种基于外循环式水加热系统的多晶硅脱胶清洗水槽，其特征在于：所述电加热器（5）的数量为一个或多个。

5.按照权利要求1或2所述的一种基于外循环式水加热系统的多晶硅脱胶清洗水槽，其特征在于：所述进水管（7）上安装有截止阀（13）。

6.按照权利要求1或2所述的一种基于外循环式水加热系统的多晶硅脱胶清洗水槽，其特征在于：所述温度检测单元（4）为温度探测器且其安装在进水管（7）上。

7.按照权利要求1或2所述的一种基于外循环式水加热系统的多晶硅脱胶清洗水槽，其特征在于：所述循环泵（3）安装在进水管（7）上。

8.按照权利要求1或2所述的一种基于外循环式水加热系统的多晶硅脱胶清洗水槽，其特征在于：还包括与温控器（10）相接的控制面板（14）。

9.按照权利要求8所述的一种基于外循环式水加热系统的多晶硅脱胶清洗水槽，其特征在于：所述控制面板（14）上设置有与温控器（10）相接的参数设置单元（15）和显示单元（16），所述控制面板（14）布设在所述柜体的前侧壁上。

10.按照权利要求2所述的一种基于外循环式水加热系统的多晶硅脱胶清洗水槽，其特征在于：所述进水口位于所述柜体的左侧壁下部，且所述出水口位于所述柜体的右侧壁上部。