[实用新型]机器人小车维修机以及位置控制结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及物体的位置控制领域，具体地说，涉及一种机器人小车维修机以及位置控制结构。

背景技术

随着半导体技术的发展，300mm的硅片已经取代200mm的硅片成为主流，每个装载了硅片的容器重量由原来的约4公斤变成了约9公斤。因此，如果借助于人力来在各个制造模块之间来进行输送的话，输送效率比较低，同时还可能出现人员被伤害的危险。由于可以有效提高厂房利用率、缩短产品的生产周期，自动化物料输送系统（Automated Material Handling Systems，以下简称：AMHS）相对于人力化的物料输送来说，成为在300mm硅片制造过程中各个制造模块之间输送硅片的主要纽带。

为了有效的利用洁净室有限地的生产空间，并且提高生产设备的利用率，缩短制品(Work In Product，以下简称WIP）)的循环周期（Cycle Time），在现有的自动化物料输送系统AMHS中，通常利用机器人小车在轨道上滑行进行硅片的搬运。目前，为了节省空间，搬运小车的轨道一般设定在空中。但是，由于机器人小车本身车身较重，一旦出现故障，搬运小车又悬在空中，存在一定维修难度。为此，为了方便对出现故障的小车进行维修，在现场设置一个维修机，负责小车故障时的升降以及维修。

现有技术中，维修机的齿轮与皮带均为固定，无法根据不同需要进行调解。因此，当运送比所设计的较重的物体时会出现齿轮和皮带之间会出现脱齿等情况，稳定性差。当运送较轻物体时，齿轮与皮带之间的要咬合力较小，由于维修机的齿轮与皮带均为固定，咬合力又无法调节。

综上，现有技术中由于维修机的齿轮与皮带均为固定，无法通过根据实际工艺需求，进行调整，导致皮带寿命降低，以及无法根据不同空间进行调解，适应性差。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种机器人小车维修机以及位置控制结构，用以部分或全部克服、部分或全部解决现有技术存在的上述技术问题。

为了部分或全部克服、部分或全部解决上述技术问题，本实用新型提供了一种机器人小车维修机，其包括维修机本体、维修机支架、位置控制结构，所述位置控制结构包括：主动力单元、副动力单元、传动单元、辅助动力单元、可水平调节的副动力支架、可垂直调节的辅助动力支架，所述主动力单元、所述副动力单元与所述传动单元咬合；所述维修机本体设置在所述维修机支架上，所述主动力单元设置在所述维修机本体的正下方，所述副动力单元设置在所述副动力支架上，所述辅助动力单元设置在可垂直调节的所述辅助动力支架上，以在调整维修机本体的升降过程中通过所述副动力支架的水平调节和所述辅助动力支架的垂直调节，实时调整所述主动力单元、所述副动力单元与所述传动单元的咬合力。

为了部分或全部克服、部分或全部解决上述技术问题，本实用新型提供了一种位置控制结构，其包括：主动力单元、副动力单元、传动单元、辅助动力单元、可水平调节的副动力支架、可垂直调节的辅助动力支架，所述主动力单元、所述副动力单元与所述传动单元咬合；所述主动力单元设置在维修机本体的正下方，所述副动力单元设置在所述副动力支架上，所述辅助动力单元设置在可垂直调节的所述辅助动力支架上，以在调整维修机本体的升降过程中通过所述副动力支架的水平调节和所述辅助动力支架的垂直调节，调整所述主动力单元、所述副动力单元与所述传动单元的咬合力。

优选地，在本实用新型的一实施例中，所述主动力单元为主动力齿轮，所述副动力单元为副动力齿轮。

优选地，在本实用新型的一实施例中，所述辅助动力单元为辅助轮，以通过所述辅助动力支架的垂直调节，调整所述主动力单元与所述传动单元之间的咬合力。

优选地，在本实用新型的一实施例中，所述主动力单元和所述副动力单元之间设置有所述辅助动力单元。

本实用新型中，由于位置控制结构中包括可水平调节的副动力支架、可垂直调节的辅助动力支架，在升降小车的过程中，通过副动力支架的水平调节、辅助动力支架的垂直调节，保持主动力单元与传动单元的咬合力，维持主动力单元与传动单元足够的摩擦力，保证维修机的稳定性和适应性。

附图说明

图1为本实用新型实施例一中机器人小车维修机的结构示意图；

图2为本实用新型实施例二中位置控制结构的示意图；

图3为本实用新型上述维修机的一动作过程示意图。

具体实施方式