[实用新型]一种炉体装卸移动装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及设备安装技术领域，尤其涉及一种炉体装卸移动装置。

背景技术

半导体扩散设备是集成电路制造的重要工艺设备，是一种要求能长时间连续工作、具有优异的控温精度及良好的可靠性和稳定性的自动控制设备，其适用于集成电路制造过程中各种氧化、退火和薄膜生长等工艺中。半导体扩散设备需要定期保养，其中保养手段包括检修，上油，润滑，更换消耗材等，有良好的定期保养才能发挥高的设备运转效率，发挥设备最高的使用率。半导体扩散设备定期保养的过程中，由于炉体质量较大和半导体扩散设备的操作空间较小，在生产线上进行炉体的维护非常不便，需要将炉体拆卸进行更换或清洗，同时也是由于炉体质量较大和半导体扩散设备的操作空间较小，炉体拆卸和安装的难度比较大。目前，半导体扩散设备尚处于起步阶段，相应的技术设备水平相对较低，尚没有专门针对半导体扩散设备炉体的安装和拆卸设计出相应的装置。

现有的半导体扩散设备在生产过程中，炉体大多采用叉车等装置进行安装，通过叉车实现炉体的升降，但是，单靠叉车也不能方便进行炉体的安装和拆卸，因为当半导体扩散设备进入生产线后，炉体的安装和拆卸空间很小，叉车等装置不能进入半导体扩散设备设备的后门部位进行安装或拆卸炉体。

因此，针对以上不足，本实用新型提供了一种炉体装卸移动装置。

实用新型内容

（一）要解决的技术问题

本实用新型的目的是提供一种炉体装卸移动装置以便于半导体扩散设备中炉体的安装和拆卸。

（二）技术方案

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种炉体装卸移动装置，其包括支架、中间输送架、前输送架、脚轮和定位机构，中间输送架设置在支架的顶部，前输送架设置在支架的一侧，且前输送架与中间输送架连接，脚轮设置在所述支架的底部，定位机构设置在在支架的一侧，且定位机构位于前输送架的下方，所述中间输送架和前输送架上均布有滚动件。

其中，还包括后输送架，所述后输送架设置在支架的远离前输送架的一侧，且所述后输送架和中间输送架连接，所述后输送架上均布有滚动件。

其中，所述中间输送架和后输送架上的滚动件为滚轮，所述前输送架上的滚动件为滚珠。

其中，所述脚轮可升降地设置在所述支架的底部。

其中，所述脚轮与一安装轴的一端连接，安装轴的另一端穿过支架底部的框边且与一调节手柄连接，安装轴与支架底部的框边螺纹连接。

其中，所述支架的底部设置有至少三个第一支撑地脚，所述第一支撑地脚可升降地设置在支架的底部。

其中，所述前输送架的前端设置有第二支撑地脚，所述第二支撑地脚可升降地设置在前输送架上。

其中，所述前输送架的下部设置有调高支件，所述调高支件与前输送架螺纹连接。

其中，所述定位机构为定位插架，该定位插架包括相连接的水平插板和竖直安装板，竖直安装板设置有竖直安装孔，竖直安装孔与支架底部通过螺栓组件连接。

（三）有益效果

本实用新型的上述技术方案具有如下优点：本实用新型提供的炉体装卸移动装置中，在支架顶部的中间输送架及与中间输送架连接的前输送架上设置滚动件，在支架的底部设置脚轮和支架的一侧设置定位机构，在炉体装卸时，可将支架推至半导体扩散设备的一侧，前输送架插入半导体扩散设备中，并通过定位机构将支架定位好后，可通过滚动件方便地将炉体移出或移入半导体扩散设置中，进而方便了半导体扩散设备中炉体的安装和拆卸，提高了工作效率。

附图说明

图1是本实用新型实施例炉体装卸移动装置的立体图；

图2是本实用新型实施例炉体装卸移动装置与半导体扩散设备的工作关系示意图；

图3是本实用新型实施例炉体装卸移动装置前输送支架的立体图；

图4是本实用新型实施例炉体装卸移动装置中间输送支架的立体图。

图中，1：支架；2：前输送架；3：中间输送架；4：后输送架；5：支撑架；6：脚轮；7：第一支撑地脚；8：第二支撑地脚；9：定位机构；10：炉体；11：半导体扩散设备；21：滚珠；31：滚轮。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。