[实用新型]一种热偶夹紧装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及热处理设备技术领域，尤其涉及一种热偶夹紧装置。

背景技术

目前热偶的夹紧固定在领域内应用较多的是粘贴连接片的方式，将连接片通过粘胶的方式固定在热偶上，再将连接片用两个法兰压住，拧入螺钉夹紧。这种热偶固定方式的缺点是需要额外购买粘贴热偶的胶，每次夹紧热偶的时候都需要先粘接连接片，增加了额外的操作，热偶在固定好之后，由于胶粘的连接片为软连接，不同操作人员粘贴的强度也不同，热偶容易滑落、移动，导致监测的热偶点改变，影响温度监测的准确性。

热偶温度测量的准确性对于半导体设备是非常重要，影响到整体工艺的效果，对于设备的工艺稳定性是不利的，工艺稳定性不好的直接后果就是产品的参差不齐，对于半导体产品是致命的，会造成严重的经济损失，从而影响半导体设备的产能和销量。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题现有的夹紧固定热偶时使用粘贴连接片，操作复杂、不同强度造成热偶滑落和移动从而导致监测热偶点的改变的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种热偶夹紧装置，包括：固定块、第一旋钮杆和第二旋钮杆；所述固定块设有第一通孔，所述第一旋钮杆可移动地安装在所述固定块上，所述第二旋钮杆安装在所述固定块上，所述第二旋钮杆与所述第一旋钮杆位于同一平面内。

其中，所述固定块设有凹槽，所述凹槽与所述第一通孔垂直连通，所述第一旋钮杆位于所述凹槽内，所述第一旋钮杆上套设有弹簧，所述凹槽的外部设有第二挡片，所述第一旋钮杆穿过所述第二挡片与第一挡片固定连接。

其中，所述第二旋钮杆通过螺纹可移动地安装在所述固定块上

其中，所述弹簧的上方设有盖板，所述盖板与所述固定块固定连接。

其中，所述盖板通过螺钉与所述固定块固定连接。

其中，所述第一挡片上设有螺纹孔，所述第一旋钮杆的端部通过所述第一挡片的螺纹孔与所述第一挡片连接。

本实用新型的上述技术方案具有如下优点：本实用新型所提供的热偶夹紧装置通过第二旋钮杆与第一旋钮杆将热偶固定夹持住，第一旋钮杆通过弹簧的弹力可以固定住热偶，第二旋钮杆也可以根据需求调节，本实用新型结构简单，使用方便，稳定可靠。

附图说明

图1是本实用新型实施例热偶夹紧装置的立体结构示意图；

图2是本实用新型实施例热偶夹紧装置的结构分解示意图；

图3是本实用新型实施例热偶夹紧装置的固定块的结构示意图；

图4是本实用新型实施例热偶夹紧装置的工作状态示意图。

图中：1：固定块；2：弹簧；3：第二挡片；4：第一挡片；5：第一旋钮杆；6：盖板；7：螺钉；8：第二旋钮杆；41：第一通孔；42：凹槽；43：螺钉孔；44：第二通孔。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

如图1和图3所示，本实用新型提供的一种热偶夹紧装置，固定块1设有第一通孔41，热偶9置于第一通孔41内，第二旋钮杆8与第一旋钮杆5位于同一平面内，第一旋钮杆5可以通过螺纹可移动地安装在固定块1上，优选地，固定块1一端切平，在此端面上开设有凹槽42，凹槽42与第一通孔41垂直连通，第一旋钮杆5位于凹槽42内，第一旋钮杆5上设有螺纹，第一旋钮杆5上套设有弹簧2，凹槽42的外部设有第二挡片3，挡片3焊接在凹槽42上，放置弹簧2被拉出凹槽42中，第一旋钮杆5穿过第二挡片3与第一挡片4固定连接，第一挡片4可以增加第一旋钮杆5与热偶的接触面积，优选地，第一挡片4上设有螺纹孔，第一旋钮杆5的端部通过螺纹孔与第一挡片4连接；向外拉第一动旋钮杆5时，由于旋钮杆5与第一挡片4固定连接，第一挡片4向外运动，此时第一通孔41内有较大空间可以放入热偶9，放入热偶9后松开第一旋钮杆5，此时由于弹簧2的弹力作用，第一挡片4压紧热偶9，热偶9被定位夹紧，拆下热偶9时，同样先向外拉动第一旋钮杆5，使热偶9松弛不被夹持，再拉出热偶9。