[实用新型]多色半导体激光器合束装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体激光器领域，尤其涉及一种多色半导体激光器合束装置。 

背景技术

由于半导体激光器具有效率高、体积小、寿命长等优点，因此采用半导体激光器合束的模块在激光医疗、激光检测与测量、仪器仪表等方面具有广泛的应用。目前，用于半导体激光器合束主要有以下三种方式：1）在自由空间上通过合束器件将两束或者多束激光合束；2）通过波导器件将两束或者多束激光合束；3）通过光纤熔接将两束或者多束激光合束。 

在自由空间上通过合束器件将两束或者多束激光合束，该方法应用最为普遍，相对工艺简单，成本低廉；但是，对于噪声要求高的应用，没有实施的优势，并且，合束后的每个通道的干扰不能有效的降低，不便于在其中加入监控或者反馈的元件。 

通过波导器件将两束或者多束激光合束，该方法也具有广泛的应用，结构简单，但是工艺要求高，相对于自由空间上通过合束器件合束没有成本优势，并且，每个通道的干扰严重，要想保证输出光束的偏振特性需要特殊的工艺。在对噪声参数敏感和高保偏性能的应用中没有成本优势。 

通过光纤熔接将两束或者多束激光合束，目前在许多的领域中得到应用，但是每次多为两根光纤的熔接，如果是多束光束的合束，操作复杂，并且不能保证很高的成品率。和上述两种方法类似，在对噪声参数敏感和高保偏性能的应用中也没有成本优势。 

实用新型内容

鉴于上述现有技术存在的缺陷，本实用新型的目的是提出一种多色半导体激光器合束装置。 

本实用新型的目的将通过以下技术方案得以实现： 

一种多色半导体激光器合束装置，包括多个相互并联的具有不同波长的半导体激光器；多个相互并联的光束偏振改良装置，防止光束的相同偏振部分的反馈，以降低由此而产生的光束噪声的增加，所述光束偏振改良装置分别位于相对应的所述半导体激光器的输出光路上；一用于合束的合束镜组，所述合束镜组的输入端位于所述光束偏振改良装置的输出光路上，所述合束镜组的输出端与一补偿镜组在同一光路上，补偿镜组用于补偿不同波长而产生的色差，其和合束镜组共同作用，既达到了合束的目的，又减少了因为光束同心而造成的不同波长的彼此通道之间的相互干扰，以及对其他通道的反馈信号的干扰而造成的功率的不稳定与噪声。

优选的，上述的多色半导体激光器合束装置，其中：每个所述半导体激光器分别固定在一多维度调整支架上。 

优选的，上述的多色半导体激光器合束装置，其中：所述半导体激光器为经过准直的半导体激光器，或者为通过与一准直器光纤耦合的半导体激光器。 

优选的，上述的多色半导体激光器合束装置，其中：每个所述光束偏振改良装置分别包括一偏振分光镜和一四分之一波片，所述四分之一波片与经过相对应的所述偏振分光镜的光的波长相匹配，前者用于提高光束的偏振性能，后者用于改变光束的偏振性能，从而防止光束的相同偏振部分的反馈以降低由此而产生的光束噪声的增加，大大地提升了合束结构性能。 

优选的，上述的多色半导体激光器合束装置，其中：所述合束镜组包括全反镜和合束镜。 

优选的，上述的多色半导体激光器合束装置，其中：所述全反镜和合束镜分别固定在基材上，所述基材为因瓦合金或者铟钢材料，其中因瓦合金为在-50℃～100℃范围的平均线膨胀系数低于1.5×10^-6 ／℃的含镍36％的铁基低热膨胀合金。 

优选的，上述的多色半导体激光器合束装置，其中：所述全反镜和合束镜固定在所述基材的在应用的温度范围内因温度变化而产生的形变最小方向上，有效的降低了因为温度变化而造成的合束性能下降的情况。