[实用新型]半导体工艺气路显示装置

权利要求书

1.一种半导体工艺气路显示装置，其特征在于，该装置包括面板和设置在面板上的气路模拟图，所述气路模拟图包括： 

线路，用于表示输送气体的管路； 

指示灯，设置在线路上，用于表示控制管路气体流通的对应电磁阀的通断状态； 

数字显示模块，设置在线路上，用于显示对应管路的气体压力和/或气体流量。 

2.权利要求1所述的装置，其特征在于，所述气路模拟图还包括： 

按钮，所述指示灯为按钮所带的指示灯，按钮用于在被按压时发出控制电磁阀开关的信号。 

3.权利要求1或2所述的装置，其特征在于，该装置还包括： 

数据接口，用于接收表示管路状态的数据，并传输给气路模拟图中的指示灯、第一数字显示模块和第二数字显示模块。 

4.权利要求2所述的装置，其特征在于，所述面板为两个，设置有相同的气路模拟图，并位于半导体工艺设备的相对两侧。 

5.权利要求4所述的装置，其特征在于，还包括： 

第一切换旋钮，位于两个面板中的一个，其处于第一位置时，仅有一个面板的按钮可以在被按压时发出控制电磁阀开关的信号；其处于第二位置时，仅有另一个面板的按钮可以在被按压时发出控制电磁阀开关的信号。 

6.权利要求2所述的装置，其特征在于，还包括： 

第二切换旋钮，用于控制按钮是否可以在被按压时发出控制电磁阀开关的信号。 

7.权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述线路为印刷线路。 

8.权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述指示灯为LED 灯。 

9.权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述指示灯通过亮灭来显示电磁阀的通断状态。 

10.权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述指示灯通过不同颜色来显示电磁阀的通断状态。