[实用新型]曲面抛光机的工作台

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种曲面抛光机，具体地说是一种超薄、易脆性工件用曲面抛光机的工作台，特别是涉及一种如玻璃、蓝宝石、压电水晶、单晶硅片等工件用曲面抛光机的工作台。

背景技术

为了使超薄、易脆性工件如玻璃、蓝宝石、压电水晶、单晶硅片等工件的表面变得光滑、透明，并具有光泽，通常对其表面需进行抛光。目前，现所使用曲面抛光机的基本结构为上盘（抛光盘）、下盘结构，抛光盘进行旋转运动，放置有工件的工作平台即下盘可以相对抛光盘反向旋转，一是增大磨削速度，二是使工件抛光均匀。同时，在整个运动过程中，因抛光盘与工作平台的接触面积保持不变，所以在加压抛光工作时，气缸可以通过抛光盘给工作平台上的工件施加恒定的压力，以保证抛光盘与工件之间保持恒定的压强。但是，因抛光盘、工作平台均进行旋转运动，抛光盘、工作平台的外圈与内圈在线速度上存在差异，这样导致工作平台上工件的抛光均匀度差，在工件上留下暇疵，如抛光纹等，影响抛光效果与效率。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种可水平移动的曲面抛光机的工作台，即在抛光盘进行旋转运动的同时，放置有工件的工作平台即下盘进行水平移动。

本实用新型是采用如下技术方案实现其发明目的的，一种曲面抛光机的工作台，它包括机架，机架上设有导轨，工作平台通过与导轨配合的滑块安装在导轨上，使工作平台可在导轨上滑动，工作平台上设有链条安装座，机架上设有水平移动驱动电机、从动链轮、由水平移动驱动电机带动的主动链轮，链条绕在主动链轮和从动链轮上，两端分别与链条安装座连接。

本实用新型所述的工作平台为方形。

为使工件具有稳定良好的抛光效果，本实用新型所述的工作平台上设有对工作平台进行冷却的冷却机构和安装工件的吸附机构。

本实用新型所述的冷却机构包括设在工作平台内的蛇形水道，与蛇形水道连通的进水接头、出水接头，进水管、出水管安装在拖链上并分别与进水接头、出水接头连接，拖链一端固定在机架上，另一端固定在工作平台上；所述的吸附机构包括设在工作平台内的真空气路、安装在工作平台上与真空气路连通的真空吸盘。

本实用新型所述的工作平台上分别开有水槽和气槽，并通过封板封闭，从而形成蛇形水道与真空气路；与真空气路的对应处设有基板，基板上安装有真空吸盘。

由于采用上述技术方案，本实用新型较好的实现了发明目的，其结构简单，操作维护简单方便、故障率低、设备使用寿命长，滑块与轨道嵌入配合，移动平稳，且传动为柔性连接，具备良好的抗冲击能力；同时，克服了现有抛光存在的缺陷，大大提高了生产效率并为实现流水线生产打下了基础。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的电气控制原理示意图；

图3是本实用新型抛光盘的工作面与工件的近似接触面积S的计算示意图（工作平台移动距离H小于等于抛光盘的半径R）；

图4是本实用新型抛光盘的工作面与工件的近似接触面积S的计算示意图（工作平台移动距离H大于抛光盘的半径R）；

图5是本实用新型的加工压力曲线图。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明。

由图1、图2可知，一种曲面抛光机的工作台，它包括机架1，机架1上设有导轨10，工作平台8通过与导轨10配合的滑块9安装在导轨10上，使工作平台8可在导轨10上滑动，工作平台8上设有链条安装座21，机架1上设有水平移动驱动电机12、从动链轮15、由水平移动驱动电机12带动的主动链轮13，链条14绕在主动链轮13和从动链轮15上，两端分别与链条安装座21连接。为控制简单，本实用新型所述工作平台8的移动为水平匀速直线运动。

本实用新型所述的工作平台8为方形。

为使工件17具有稳定良好的抛光效果，本实用新型所述的工作平台8上设有对工作平台8进行冷却的冷却机构和安装工件17的吸附机构。

本实用新型所述的冷却机构包括设在工作平台8内的蛇形水道19，与蛇形水道19连通的进水接头、出水接头，进水管、出水管安装在拖链上并分别与进水接头、出水接头连接，拖链一端固定在机架1上，另一端固定在工作平台8上；所述的吸附机构包括设在工作平台8内的真空气路20、安装在工作平台8上与真空气路20连通的真空吸盘。

本实用新型所述的工作平台8上分别开有水槽和气槽，并通过封板11封闭，从而形成蛇形水道19与真空气路20；与真空气路20的对应处设有基板18，基板18上安装有真空吸盘。