[实用新型]曲面抛光机抛光液分流装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种曲面抛光机，具体地说是一种曲面抛光机抛光液分流装置。

背景技术

为了使超薄、易脆性工件如玻璃、蓝宝石、压电水晶、单晶硅片等工件的表面变得光滑、透明，并具有光泽，通常对其表面需进行抛光。目前，现所使用曲面抛光机的基本结构为上盘（抛光盘）、下盘结构，抛光盘进行旋转运动，放置有工件的工作平台即下盘可以相对抛光盘反向旋转，抛光盘进行旋转运动时，将产生大量的热量。由于，现有的抛光盘运动方式单一（仅有自转），抛光液的分流相对容易实现：即将抛光液注入一环状U形槽中，经环状U形槽再分流到每个抛光盘，环状U形槽可以保证旋转时任何时候都能接往进液管。当需抛光盘在自转的同时公转，则需抛光液分流装置将抛光液送至每个抛光盘。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种当抛光盘在自转的同时公转的曲面抛光机抛光液分流装置。

本实用新型是采用如下技术方案实现其发明目的的，一种曲面抛光机抛光液分流装置，它包括机架，机架上设有由主轴带动的抛光盘，抛光盘上设有与分流装置连接的中心孔，所述分流装置包括进液管、分流主室，分流主室与主轴联接，分流主室通过分流管与抛光盘的中心孔联接；进液管与分流主室、分流管与抛光盘的中心孔之间由密封件密封。

本实用新型所述抛光盘为2～8个，抛光盘的驱动轴通过齿轮组与主轴联接。

由于采用上述技术方案，本实用新型较好的实现了发明目的，其结构简单，保证了各抛光盘的散热，且抛光盘自身就能完成相对运动，消除了因内、外圈线速度的差异对工件带来的瑕疵，抛光效果好；同时，可以扩展和赋予工作平台更多的功能，如相对抛光盘进行左右移动，不需停机摆片、卸片，实现抛光工艺的流水线生产。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明。

实施例1：

由图1可知，一种曲面抛光机抛光液分流装置，它包括机架，机架上设有由主轴4带动的抛光盘1，抛光盘1上设有与分流装置连接的中心孔7，所述分流装置包括进液管3、分流主室9，分流主室9与主轴4联接，分流主室9通过分流管10与抛光盘1的中心孔7联接；进液管3与分流主室9、分流管10与抛光盘1的中心孔7之间由密封件8密封，以保证抛光盘1在自转与公转时抛光液不漏出。

本实用新型所述抛光盘为2～8个，抛光盘的驱动轴通过齿轮组与主轴联接。本实施例为3个。

本实用新型工作时，将工件摆放在工作平台5上，抛光盘1在主轴4带动下旋转，同时，抛光盘1所在的安装盘2在公转电机6带动下旋转。这样，使抛光盘1在自转的同时公转。由于抛光时产生大量的热量，乳状抛光液经进液管3、分流主室9、分流管10分别进入抛光盘1的中心孔7并流出对工件进行冷却，以保持抛光作业时的最佳工作环境处于25±5℃之间。乳状抛光液经回收，冷却处理后可再利用。

实施例2：

抛光盘1在自转的同时公转，且工作平台5由水平移动驱动电机带动水平匀速移动，这样，可以通过机械手将工件移至或移出工作平台5，不需停机摆片、卸片，以实现抛光工艺的流水线生产。

余同实施例1。