[实用新型]模塑互联器件的制备装置有效
| 申请号： | 201320871162.3 | 申请日： | 2013-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN203617249U | 公开（公告）日： | 2014-05-28 |
| 发明（设计）人： | 王红卫;沈文凯 | 申请（专利权）人： | 苏州市奥普斯等离子体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 孟宏伟 |
| 地址： | 215011 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 模塑互联 器件 制备 装置 | ||
1. 模塑互联器件的制备装置，其特征在于，包括：注塑机，所述注塑机用于注塑形成模塑互联器件的塑料壳体；
激光镭雕机，所述激光镭雕机利用激光将塑料壳体的表面描绘出电路图形并且形成相应的线槽；
真空等离子体处理设备，所述真空等离子体处理设备用于将激光镭雕后的塑料壳体表面线槽内部的粉尘和外溅到线槽外的污染物进行等离子体刻蚀和将吹洗后的塑料壳体表面进行等离子体活化；
吹洗设备，所述吹洗设备用于将刻蚀后的塑料壳体表面线槽内部的粉尘和外溅到线槽外的污染物进行吹洗；
涂镀机，所述涂镀机将活化后的塑料壳体表面的线槽金属化。
2. 根据权利要求1所述的模塑互联器件的制备装置，其特征在于，所述真空等离子体处理设备包括反应腔室、高频电源、物料托盘、气源、负压装置和至少一对电极组件，每对电极组件包括两个平行设置于反应腔室内的平板电极，所述物料托盘平行设置于两个平板电极之间，所述高频电源的正负极分别与每对电极组件连接，所述气源、负压装置分别与所述反应腔室连接。
3. 根据权利要求2所述的模塑互联器件的制备装置，其特征在于，所述每个平板电极上开设有若干贯穿平板电极的电极气孔。
4. 根据权利要求3所述的模塑互联器件的制备装置，其特征在于，所述物料托盘上开设有若干贯穿物料托盘的托盘气孔。
5. 根据权利要求4所述的模塑互联器件的制备装置，其特征在于，所述负压装置为真空泵或泵组。
6. 根据权利要求5所述的模塑互联器件的制备装置，其特征在于，所述高频电源的频率范围为10Khz—100Khz或13.56MHz。
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