[实用新型]可简化被镀物抓取的溅射机装置

说明书

技术领域

本实用新型是有关于一种溅射机装置，尤其是一种可简化被镀物抓取的溅射机装置。 

背景技术

请参考图1，现有技术中的溅射腔1’其外侧有一腔门100’，用于置入或取出靶材；如欲同时在一被镀物上溅镀数种靶材，则必须有数个溅镀枪4’，各溅镀枪的前端安装有靶材40’，该溅镀枪将会令靶材的分子游离溅射到被镀物3’上。该溅镀枪的投射端在该溅射腔内，而另一端则延伸到该溅射腔1’外，已使得操作人员可以进行所需要的操作。另外设有一转盘2’，该转盘2’为一盘体，位于该溅射腔1’之内，该盘体可乘载一被镀物3’，该转盘2’还包含驱动机构，该驱动机构包含:一转动轴，该转动轴的一端固定在该转盘的中心部位，另一端延伸出该溅射腔之外，并连结一驱动器(图中没显示，其位于该溅射腔外)，该驱动器可以进行径向转动而使得该转盘旋转。其中该腔门100’的门体略垂直于该转盘的盘面，以便于抓取转盘上的被镀物3’。 

一抓取装置400’，该抓取装置用于由该腔门100’置入或取出该被镀物3’。使用时，该抓取装置靠近该腔门，并深入腔门内取出或置入该被镀物。 

一输送装置5’，该输送装置用于将该被镀物3’从该溅射腔取出，其中，该输送装置包含: 

一前输送腔50’，其为一腔体，该腔体可密闭态抽真空。使用时，将该前输送腔靠近该溅射腔的腔门，将该前输送腔抽取呈真空状态，将该溅射腔的腔门打开，由于该前输送腔以抽真空，所以两者连通时，并 不会破坏溅射腔的真空态。然后该抓取装置将溅镀完成的该被镀物取出，并经该腔门送入该前输送腔。以便于取出该被镀物，随后再将该溅射腔的腔门关闭。一隔离阀51’，该隔离阀位于该前输送腔的后方，可以隔离该前输送腔与该输送装置的其余部位，而保持该前输送腔的真空态。一后输送腔52’，该后输送腔位于该隔离阀的后方，而与该前输送腔形成一完整的腔体，两者用该隔离阀隔离。当该被镀物已被取出并至于该前输送腔内时，将该隔离阀打开，便可将该被镀物移至该后输送腔，再将该后输送腔的腔门打开，以夹爪取出该被镀物。 

在上述的现有技术中，溅射腔的外侧设有一腔门，该腔门100’的门体略垂直于该转盘的盘面，以抓取转盘上的被镀物3’。所以必须配置该抓取装置。只要该抓取装置为机动结构，其后方必须有电控装置，以控制该抓取机构的动作。但是，上述装置成本高昂，结构复杂。而且整体的结构有部分必须伸出该前输送腔，所以有可能破坏原溅射腔的真空态，以至于整体的操作难度变高，时间也拉长。由于该抓取装置在抓取被镀物时，需耗费较多的时间，因此反复打开该溅射腔，破坏其真空度，再建立真空，整体操作时间拉长，而且此一过程又会造成对被镀物镀膜的损害，而影响整个溅镀品质。因此，若能提出一种能够简省成本及空间的溅射结构，必能带来更高的经济效益，且增进溅镀的品质。 

因此本案的发明人鉴于对于对现有技术的了解，所以希望能提出一崭新的结构，因此构思具新颖性的本案以解决上述现有技术中的缺点。 

实用新型内容

为解决上述现有技术上的问题，本实用新型中提出一种可简化被镀物抓取的溅射机装置，其目的为提供一种能够简省成本及空间的溅射机装置。 

为达到上述目的本实用新型中提出一种可简化被镀物抓取的溅射机 装置，包含：一个溅射腔，该溅射腔为一个高真空的腔体；该溅射腔包含有一个腔门，该腔门用于取出或置入被镀物于该溅射腔内； 

其中所述溅射机装置还包含：一个受镀转盘，该受镀转盘包含一个位于该溅射腔之内的盘体，该盘体上设有至少一个穿孔，所述穿孔分别用于安置被镀物；其中该腔门朝向于该受镀转盘的位置； 

一个溅镀枪，靶材安装在该溅镀枪的投射端，该投射端位于该溅射腔内，而该溅镀枪的另一端则延伸到该溅射腔外，该受镀转盘位于该被镀物及该溅镀枪之间； 

该被镀物安装在该受镀转盘的所述穿孔内，且对齐该溅镀枪的靶材；该受镀转盘转动，令该被镀物随该盘体转动依次对齐该该溅镀枪中的靶材； 

一个推送轴，推送轴安装在该溅射腔的一侧，该推送轴相对于该受镀转盘，且该推送轴与该溅镀枪位于同一侧；该推送轴的轴向位置指向该腔门；该推送轴前后轴向移动，以便将该被镀物向前推出该受镀转盘，并向该腔门移动从而移出至腔体外；以及 

一个输送装置，连接于该腔门，该输送装置用于将该被镀物从该溅射腔取出。 

优选的，该腔门的门体平行于该受镀转盘，以利于从该受镀转盘上攫取该被镀物并送出该溅射腔外。 

优选的，该输送装置包含： 

一个前输送腔，该前输送腔为一个可密闭态抽真空的腔体，该前输送腔能够连通该溅射腔的腔门；