[实用新型]纳米多层复合膜有效
| 申请号： | 201320865529.0 | 申请日： | 2013-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN203768443U | 公开（公告）日： | 2014-08-13 |
| 发明（设计）人： | 吴日芳;江延军;王峰;高鹏万 | 申请（专利权）人： | 大连远东工具有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/32 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 贾汉生;李馨 |
| 地址： | 116113 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 纳米 多层 复合 | ||
【权利要求书】：
1.一种纳米多层复合膜，其特征在于，包括顺次设置的Ti层、复合层和TiN表层，所述复合层包括交替设置Ti2N+TiN层和TiN层。
2.根据权利要求1所述纳米多层复合膜，其特征在于，所述Ti层厚度为50-70nm。
3.根据权利要求1所述纳米多层复合膜，其特征在于，所述Ti2N+TiN层厚度为28-60nm；所述TiN层厚度为35-70nm。
4.根据权利要求1所述纳米多层复合膜，其特征在于，所述TiN表层的厚度为0.8-1.5μm。
5.根据权利要求1所述纳米多层复合膜，其特征在于，所述纳米多层复合膜厚度为2-5μm。
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