[实用新型]高度调节式扫描电镜样品座有效
| 申请号: | 201320864046.9 | 申请日: | 2013-12-25 |
| 公开(公告)号: | CN203690251U | 公开(公告)日: | 2014-07-02 |
| 发明(设计)人: | 严永林 | 申请(专利权)人: | 苏州新锐合金工具股份有限公司 |
| 主分类号: | H01J37/20 | 分类号: | H01J37/20;G01N23/22 |
| 代理公司: | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人: | 王玉国;陈忠辉 |
| 地址: | 215121 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 高度 调节 扫描电镜 样品 | ||
【权利要求书】:
1.高度调节式扫描电镜样品座,其特征在于:包含用于放置样品及调整样品位置的旋转基座、固定于样品台上的套筒和弹簧,所述旋转基座的下底面凸设有中心轴,中心轴上套置有弹簧,中心轴的下端通过螺纹与套筒相旋接,弹簧的上端与旋转基座的下底面相抵接,弹簧的下端与套筒的上顶面相抵接。
2.根据权利要求1所述的高度调节式扫描电镜样品座,其特征在于:所述套筒的上端凸设有台阶。
3.根据权利要求1所述的高度调节式扫描电镜样品座,其特征在于:所述旋转基座上沿径向设有夹持凹槽。
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