[实用新型]一种压电式压力传感器有效
| 申请号： | 201320859587.2 | 申请日： | 2013-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN203719797U | 公开（公告）日： | 2014-07-16 |
| 发明（设计）人： | 谭晓兰;汪海涛;赵全亮;李佳玮 | 申请（专利权）人： | 北方工业大学 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 100144 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 压电 压力传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种压电式压力传感器，包括：基底、电极、敏感元件和掩蔽层，其中，所述敏感元件位于所述电极背离所述基底的一面上，其特征在于，所述敏感元件包括静电纺丝工艺形成的多条压电纤维，所述多条压电纤维与所述电极电性接触。
2.根据权利要求1所述的压电式压力传感器，其特征在于，所述压电纤维为多铁性纳米结构压电纤维。
3.根据权利要求1所述的压电式压力传感器，其特征在于，所述多条压电纤维的直径的范围为0.1μm～1μm，包括端点值。
4.根据权利要求1所述的压电式压力传感器，其特征在于，所述多条压电纤维位于所述电极的指部区域。
5.根据权利要求1所述的压电式压力传感器，其特征在于，所述多条压电纤维平行排列。
6.根据权利要求5所述的压电式压力传感器，其特征在于，所述多条压电纤维与所述电极的指部所呈的角度为90度。
7.根据权利要求6所述的压电式压力传感器，其特征在于，所述多条压电纤维均匀分布。
8.根据权利要求1所述的压电式压力传感器，其特征在于，所述基底的空腔为梯台形空腔。
9.根据权利要求1所述的压电式压力传感器，其特征在于，所述掩蔽层的厚度范围为0.1μm～0.3μm，包括端点值。
10.根据权利要求1所述的压电式压力传感器，其特征在于，所述电极的厚度范围为0.1μm～0.3μm，包括端点值。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北方工业大学，未经北方工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201320859587.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种宽频带碳化硅耐高温吸波涂层及制备方法
- 下一篇：一种中草药驱蚊水
