[实用新型]单枪多靶材的溅镀装置

权利要求书

1.一种单枪多靶材的溅镀装置，其特征在于，包含下列元件：

一个溅射腔，为腔体结构，该溅射腔为一个可达到高真空的腔体；

一个标靶转盘，包含一个盘体位于该溅射腔之内，该盘体上包含用于安置溅射所需要的靶材的至少两个穿孔； 

一个被镀物，安装在该溅射腔的一侧，而且对齐该标靶转盘中的一个靶材；当该标靶转盘转动时，该被镀物也跟着对齐该标靶转盘中不同的靶材；

一把能产生高电压、雷射、射频电波等不同的热源来驱动靶材以使得靶材的分子游离溅射到被镀物上的溅镀枪，其投射端对齐该被镀物，在安装态时该标靶转盘位于该被镀物及溅镀枪之间。

2.如权利要求1所述的单枪多靶材的溅镀装置，其特征在于：还设有对该溅射腔抽取空气达到所需要的真空度的抽真空装置，当将该转盘调整到溅射所需要的位置点时，需要溅射的靶材被调整到介于该被镀物及溅射腔之间的位置，且该溅射腔的投射端、该靶材、及该被镀物位于一条直线上，且是通过驱动该转盘进行轴向移动使得需溅射的靶材紧贴在该溅射腔的投射端的。

3.如权利要求1所述的单枪多靶材的溅镀装置，其特征在于：该标靶转盘尚包含驱动结构，该驱动结构包含：一根转动轴，该转动轴的一端固定在该标靶转盘的中心部位，另一端延伸出该溅射腔之外，并连接一个也位于该溅射腔外且能使该转动轴沿着轴向移动而推动该标靶转盘或进行径向转动而使得该标靶转盘旋转的驱动器。

4.如权利要求1所述的单枪多靶材的溅镀装置，其特征在于：该溅镀枪的投射端在该溅射腔内，而另一端则延伸到该溅射腔外以使得操作人员进行所需要的操作。

5.如权利要求1所述的单枪多靶材的溅镀装置，其特征在于：该标靶转盘具有最多能容纳四种不同的靶材的四个穿孔。