[实用新型]一种双摇摆喷淋装置

权利要求书

1.一种双摇摆喷淋装置，用于蚀刻机或者显影机，其特征在于，包括上下两组对称设置的摇摆喷淋单元，所述摇摆喷淋单元包括垂直于待蚀刻基板的传送方向的导轨，架设于所述导轨上且垂直于所述传送方向作往复式直线运动的喷淋架，以及活动设置于所述喷淋架中且相互间隔的多个喷淋管，所述喷淋管的两端与所述导轨之间均设置有旋转块，所述旋转块的一端与所述导轨之间转动连接，所述旋转块的另一端与所述喷淋管垂直且轴向定位连接。 

2.如权利要求1所述的双摇摆喷淋装置，其特征在于，所述导轨上固定设置有定位架，所述旋转块的一端通过定位件与所述定位架转动连接。 

3.如权利要求2所述的双摇摆喷淋装置，其特征在于，所述喷淋架上横设有喷管固定板，所述喷管固定板位于所述喷淋管和所述旋转块之间。 

4.如权利要求3所述的双摇摆喷淋装置，其特征在于，所述喷淋管与所述旋转块通过轴向定位组件配合形成轴向定位连接，所述轴向定位组件包括与所述喷淋管连接的喷管堵头，与所述喷管堵头轴向定位连接的转接头，以及套接所述喷管堵头和所述转接头的套壳，所述转接头穿过所述喷管固定板并与所述旋转块轴向定位连接。 

5.如权利要求1～4任一项所述的双摇摆喷淋装置，其特征在于，所述双摇摆喷淋装置还包括用于驱动所述摇摆喷淋单元运动的驱动组件，所述驱动组件设于所述上下两喷淋架的同侧，并分别与其固定连接，且所述驱动组件带动所述上下两喷淋架垂直于所述传送方向作错开式直线运动。 

6.如权利要求5所述的双摇摆喷淋装置，其特征在于，所述驱动组件包括电动机，以及由所述电动机上伸出的主轴，所述主轴上固定连接有两组反向设置的偏心轮，所述偏心轮上套设有偏心套，所述偏心套上固定连接有拉杆，所述拉杆与所述喷淋架固定连接。 

7.如权利要求1所述的双摇摆喷淋装置，其特征在于，所述喷淋管上设置有多个用于喷淋药液的喷嘴。 

8.如权利要求7所述的双摇摆喷淋装置，其特征在于，所述喷淋管上还设置有进液管，所述进液管与所述喷淋管连通，且所述进液管上开设有用于输入药液的进液口。