[实用新型]一种硒源蒸发装置有效
| 申请号： | 201320851998.7 | 申请日： | 2013-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN203639543U | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 赵岳;王赫;张超;邓朝文;张翰明;赵彦民;乔在祥 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十八研究所 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 天津市鼎和专利商标代理有限公司 12101 | 代理人： | 李凤 |
| 地址： | 300384 天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种硒源蒸发装置，包括带有加热丝的炉体，炉体外壁自上至下套有顶部壳体和底部壳体，其特征在于：所述顶部壳体和底部壳体的内壁上均制有螺旋状凹槽，所述加热丝置于凹槽内；顶部壳体和底部壳体的外壁均置于壳体支架中，所述壳体支架底部固装有底盘，壳体支架内底盘和炉体之间置有套在屏蔽层支撑柱上的屏蔽层；底盘下面通过支撑杆固定在电控器上。
2.根据权利要求1所述的一种硒源蒸发装置，其特征在于：所述壳体支架上面的顶部壳体外壁套有密封卡环，所述顶部壳体上密封卡环和炉体之间的间隙卡装有由大小孔构成的内台阶状蒸发源顶部遮盖片，所述蒸发源顶部遮盖片小孔的内端面紧贴于炉体的上端面。
3.根据权利要求1所述的一种硒源蒸发装置，其特征在于：所述炉体为顶端带有外沿的氮化硼圆桶状坩埚。
4.根据权利要求1所述的一种硒源蒸发装置，其特征在于：所述炉体内上端部紧配合置有高纯石墨喷嘴。
5.根据权利要求1所述的一种硒源蒸发装置，其特征在于：所述炉体外侧的底部及顶部均固装有热偶。
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