[实用新型]盒式急停按钮装置

说明书

技术领域

本实用新型属于半导体器件领域，具体涉及一种半导体立式氧化炉内设置的控制按钮装置。

背景技术

半导体立式氧化炉是集成电路装备的一种，可用于集成电路制造工艺过程中的氧化、退火等工艺过程。由于硅片的制造有极高的外界环境要求，因此对立式炉设备内部微环境有较高的设计要求，对立式炉设备内部微环境的定期维护和维修是保证立式炉设备微环境高设计要求的重要方面。当人员进入立式炉设备微环境内部维护时，急停按钮作为一种保障人身和设备安全的装置，是不可缺少的。

立式炉设备微环境内部的急停按钮装置设计需要满足以下几点要求：第一，由于立式炉设备微环境本身的高洁净度要求，安装在微环境内部的急停按钮装置也必须满足高洁净的需求；第二，当立式炉设备进行工艺升温或降温时，其微环境温度较高，需要对急停按钮装置进行必要的防护；第三，当设备出现异常时，急停按钮装置需要能快速简洁的做出反应，因此安装位置需要便于维护人员操作；第四，急停按钮安装位置不能妨碍设备正常的运行和维护。

传统的半导体设备中广泛应用的急停按钮装置，基本满足当设备异常时维护人员能方便操作的基本功能要求，但其未对急停按钮装置进行必要的防护和遮挡，不能满足高洁净和耐温的要求。

实用新型内容

针对本领域的不足之处，本实用新型的目的是提出一种设置在半导体立式氧化炉内的盒式急停按钮装置。

实现本实用新型目的的技术方案为：

一种设置在半导体立式氧化炉内的盒式急停按钮装置，包括急停按钮、固定板、保护装置；

所述急停按钮设置在固定板上面；所述保护装置为盒式结构，罩在急停按钮外；

所述保护装置的一端与固定板通过铰链连接，另一端与固定板通过紧固件连接。

其中，所述保护装置的一端与固定板通过铰链连接，另一端设置有翼片，翼片上设置有螺孔，螺钉穿过螺孔固定在固定板上。

其中，所述保护装置为光亮不锈钢材质。例如304不锈钢。

其中，所述急停按钮包括运动停止按钮和设备断电按钮。

优选地，所述盒式急停按钮装置设置在半导体氧化炉入口靠右侧下方。

本实用新型装置的使用方式是，当设备正常运行时急停按钮置于保护罩内，按钮上的颗粒不会扩散到微环境内部，同时微环境内部的高温也不会损坏急停按钮；当设备处于调试维护状态时，卸下紧固件，打开盒式保护装置，使急停按钮处于调试维护人员易于操作的状态，便于随时操作。

由于采用了盒式急停按钮装置并位于半导体氧化炉入口靠右侧下方，急停按钮装置本身不会妨碍设备正常的运行和维护。

本实用新型的有益效果在于：

本实用新型提出的装置，具有安装方便、容易制作、有效阻挡颗粒污染和耐烧结炉内高温的特点。

该装置结构简单，维护方便，安装使用方法便捷，使用过程中无颗粒扩散。

附图说明

图1为盒式急停按钮装置结构图；

图2为设备维护状态时盒式急停按钮装置结构图。

图3为盒式急停按钮装置的安装位置示意图。

图中，1急停按钮装置，2固定板，3保护罩，4运动停止按钮，5设备断电按钮，6防脱螺钉，7铰链，8固定安装孔，9半导体氧化炉入口，10半导体氧化炉。

具体实施方式

以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。在不背离本实用新型精神和实质的情况下，对本实用新型方法、步骤或条件所作的修改或替换，均属于本实用新型的保护范围。

若未特别指明，实施例中所用的技术手段为本领域技术人员所熟知的常规手段。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

实施例1

如图1所示，盒式急停按钮装置1，包括急停按钮、固定板2、保护装置；

保护装置为盒式的保护罩3，采用光亮不锈钢材料加工而成，可防止热辐射损坏内部的急停按钮。保护罩3的一端与固定板2通过铰链7连接，另一端设置有翼片，翼片上设置有螺孔，防脱螺钉6穿过螺孔固定在固定板上2。