[实用新型]一种基于动压效应的盘式抛光装置有效
| 申请号： | 201320849909.5 | 申请日： | 2013-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN203622138U | 公开（公告）日： | 2014-06-04 |
| 发明（设计）人： | 林彬;张晓峰;刘文龙;柳鹏飞;李岩 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | B24B13/00 | 分类号： | B24B13/00;B24B13/01;B24B57/02 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 宋洁瑾 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 效应 抛光 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于动压效应的盘式抛光装置，包括抛光头和粘接在抛光头上的抛光垫，其特征在于，所述抛光头下部为圆盘式结构与抛光垫一同形成抛光盘，盘底部带有动压槽，抛光盘为中间带孔的环形结构，抛光液由抛光盘中心孔通道喷出。
2.根据权利要求1所述基于动压效应的盘式抛光装置，其特征在于，所述抛光盘底部动压槽为直槽形式，槽个数为6个，沿圆周平均分布，抛光盘半径为20mm，槽深度为0.4mm，宽度为0.6mm。
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