[实用新型]一种液冷多晶硅还原炉高频加热电源逆变主电路有效
申请号: | 201320841000.5 | 申请日: | 2013-12-19 |
公开(公告)号: | CN203708115U | 公开(公告)日: | 2014-07-09 |
发明(设计)人: | 陈林;唐子倩 | 申请(专利权)人: | 浙江海得新能源有限公司 |
主分类号: | H02M5/42 | 分类号: | H02M5/42;H05B6/06 |
代理公司: | 浙江英普律师事务所 33238 | 代理人: | 陈俊志 |
地址: | 314500 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多晶 还原 高频 加热 电源 逆变主 电路 | ||
1.一种液冷多晶硅还原炉高频加热电源逆变主电路,包括相控SCR整流桥、逆变模块、电磁感应线圈,其特征在于:所述相控SCR整流桥分为多组SCR整流器,SCR整流器分别与直流母线并联,所述逆变模块包括第一、第二、第三、第四、第五、第六逆变模块,逆变模块并联在直流母线上,每个逆变模块的输出中点并联均流电抗器之后,通过真空接触器连接到电磁感应线圈,所述第一、第三逆变模块连接到同一个电磁感应线圈,第二、第五逆变模块连接到同一个电磁感应线圈,第四、第六连接到同一个电磁感应线圈。
2.根据权利要求1所述一种液冷多晶硅还原炉高频加热电源逆变主电路,其特征在于:所述相控SCR整流桥有三组SCR整流器,各组SCR整流器通过隔离开关分别与分档输入的交流连接。
3.根据权利要求1所述一种液冷多晶硅还原炉高频加热电源逆变主电路,其特征在于:所述逆变模块由三个开关管组并联而成,开关管是由IGBT与二极管并接而成。
4.根据权利要求1所述一种液冷多晶硅还原炉高频加热电源逆变主电路,其特征在于:所述电磁感应线圈为螺线管形式。
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